1. LDLS的光譜范圍是多少?
LDLS光譜范圍是170-2400nm,這個(gè)范圍是由高純度的人工合成石英的輸出窗口限制的。在UV-VIS-IR波段范圍光輻射強(qiáng)度均優(yōu)于傳統(tǒng)的氘等和氙燈,光輻射強(qiáng)度圖詳見下圖:
2. LDLS的輸出總功率和亮度是多大?
LDLS是經(jīng)過優(yōu)化的,主要體現(xiàn)于高亮度上,而不是高功率。LDLS輸出光從非常小的100μm的PLASMA斑輻射出來,這就形成了非常高的亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm2/sr)和適當(dāng)?shù)墓β剩?/span>Watt),LDLS的輸出值如下.
通常情況下,EQ-99 提供約10mwatts/nm/mm2/sr的光譜輻射亮度(亮度)(取決于波長)和約0.5W總功率。
通常情況下,EQ-77 提供約30mwatts/nm/mm2/sr的光譜輻射亮度(亮度)(取決于波長)和約2W總功率。
通常情況下,EQ-400 提供約100mwatts/nm/mm2/sr的光譜輻射亮度(亮度)(取決于波長)和約15W總功率。
3. EQ-99XFC使用什么類型的光纖連接器?
EQ-99XFC 帶有FC連接器;廠家標(biāo)配一根光纖跳線,可選端口有FC-FC,FC-SMA。強(qiáng)烈推薦使用原廠高性能,高紫外壽命光纖。
4. EQ-99XFC 提供的功率是多少?
這取決于所選擇的光纖的尺寸,傳輸特性和波長。典型的輸出功率如下; ? 600 um corefiber, 0.22NA; ~200 mwatts (broadband)
? 455 um core fiber; 0.22NA; ~150 mwatts (broadband)
? 230 um core fiber, 0.22NA; ~70 mwatts (broadband)
? 115 um core fiber, 0.22NA; ~25 mwatts (broadband)
? 50 um core fiber,0.22NA; ~5 mwatts (broadband)
? 9 um core single mode fiber; ~40 μwatts (broadband)
5. EQ-99XFC 提供的光譜功率是多少?
這取決于所選擇的光纖,波長范圍和光纖特性。典型的有230μm直徑,0.22NA光纖,如下圖表所示:
對于較大直徑的光纖,圖表中的光譜功率值可以乘以以下因數(shù): 230μm 乘以 1 ;450μm 乘以 ~ 2 ;600μm 乘以 ~ 2.25。
6. 電源和燈室之間的光纖有長度限制嗎?
標(biāo)準(zhǔn)光纖長度為1m。目前,較長的光纖效果是不好保證的,不能提供定制。
7. 燈室輸出光纖有長度限制嗎?
Energetiq 提供的輸出光纖高性能、 耐日曬,光纖直徑可選,光纖長度可選 1 米和 2 米。
8. LDLS中等離子體的空間穩(wěn)定性如何?
因?yàn)轵?qū)動(dòng)激光的聚焦特性使等離子體的位置也可以精確定位,等離子光強(qiáng)度的質(zhì)心位置在 x、 y 或 z 軸上偏差小于 0.5 μm。這是以每秒200幀的速度捕獲2500張圖像測量出的。
9. LDLS功率長期漂移特性?
主要由光源溫度系數(shù)決定,大約為0.3%/deg C.這個(gè)溫度系數(shù)在數(shù)小時(shí)內(nèi)會(huì)是大多數(shù)系統(tǒng)偏移的主要原因。 需在測前預(yù)熱30分鐘以保證LDLS達(dá)到熱平衡,實(shí)際時(shí)間需看應(yīng)用的領(lǐng)域以及所需準(zhǔn)確度而定。
10. 燈泡壽命對輸出功率有什么影響?
每工作1000小時(shí),輸出功率減少大約1%~2%。
11. 燈的壽命有多長?
EQ-99X系列燈壽命大于9000小時(shí);EQ-77和EQ-400的燈壽命也大于9000小時(shí)。
12. LDLS的驅(qū)動(dòng)激光功率多大?
EQ-99X 和 EQ-99XFC使用一個(gè)總功率約20W的1μm半導(dǎo)體激光;EQ-77使用一個(gè)總功率約80W的1μm半導(dǎo)體激光;EQ-400使用一個(gè)總功率約500W的1μm半導(dǎo)體激光。
13. EQ-99 系列和新的EQ-99X 系列有什么區(qū)別?
EQ-99 系列和 EQ-99X系列用的同樣的技術(shù),但是 EQ-99X可以提供更好的長期穩(wěn)定性與工作壽命。EQ-99X-FC使用光纖保護(hù)技術(shù)(使用某一特定磁場)改善長期深紫外輸出。 EQ-99X 系列產(chǎn)品線包括EQ-99X和EQ-99XFC。
14. LDLS等離子體的尺寸?
EQ-99X為60μm×140μm(半高全寬);EQ-77為125μm×300μm(半高全寬);EQ-400約為400*1000μm(半高全寬)。
15. LDLS輸出光束特性?
EQ-99X是光源,發(fā)散光,數(shù)值孔徑0.47(自由空間光準(zhǔn)直); EQ-77和EQ-400是光源,發(fā)散光,數(shù)值孔徑0.5(自由空間光準(zhǔn)直);EQ-99X 配有光準(zhǔn)直配件(OAP-離軸拋物鏡)將光轉(zhuǎn)換至單色儀或光譜儀;焦距(OAPM)可選;EQ-99XFC光纖耦合輸出數(shù)值孔徑0.22
16. LDLS需要連接到單色儀和光譜儀時(shí),OAP怎么設(shè)置?
EQ-99X有4種不同的OAP選項(xiàng)。注意OAP組件的數(shù)值孔徑(NA)應(yīng)比單色器或分光計(jì)的入口NA略少。而F /#的OAP組件應(yīng)比入口系統(tǒng)的F/#稍大,以有效地耦合到系統(tǒng)中。
17. EQ-99X光源工作時(shí)溫度是多少?
典型實(shí)驗(yàn)中,EQ-99X 和 EQ-99XFC 燈室溫度大約可至55℃。其主要由光源位置及搭建方式?jīng)Q定,環(huán)境溫度高則燈溫度高。金屬散熱架構(gòu)會(huì)使光源溫度降低。EQ-77和EQ-400使用水冷,可以降到設(shè)定的溫度
18. 何時(shí)需要用干燥的氮?dú)馇鍧?/strong>LDLS,氣壓為多少?
LDLS產(chǎn)生大量深UV光,小于200nm的部分會(huì)使氧氣變?yōu)槌粞酰粞跤治?/span>240~270nm的光。當(dāng)LDLS輸出的光在170~270范圍內(nèi),LDLS需用氮?dú)馇鍧崱?/span>氮?dú)馇鍧嵉燃墳?/span>6或更高的氣體純度,且氣體<5um,使用壓強(qiáng)>0.14MPa,氣體耗量為1slm,無雜氣回流,氮?dú)鈺?huì)直接將其壓出光源室,且只能使用干燥的過濾后的氮?dú)猓豢墒褂闷渌麣怏w;也不能使用真空室代替。
19. EQ-99X 和 EQ-99XFC 光源放置方向?
EQ-99X 和 EQ-99XFC 只能將標(biāo)簽(序列號(hào))朝下放置。EQ-99XFC更是如此,因?yàn)檩敵龉饫w在頂部,且等離子體會(huì)受重力以及準(zhǔn)直的影響,所以在特定的放置方向參數(shù)會(huì)。強(qiáng)烈要求按推薦方向放置;如由于光學(xué)原因必須改變位置,則需和我們聯(lián)系討論解決方案。
詳細(xì)文本資料和解決應(yīng)用方案請聯(lián)系上海屹持光電技術(shù)有限公司
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