與臭氧滅菌、甲醛滅菌等傳統滅菌方法相比，過氧化氫（H2O2）因其滅菌效果佳，無腐蝕，無二次污染等優勢，被食品飲料、制藥、生物醫學、化妝品等行業廣泛應用。H2O2）是一種天然存在的化學物質，其滅菌原理是由于H2O2中的氧（O-)是以高能態的形式存在，非常不穩定，在常溫下隨時可分解還原成氧（O2）。在過氧化氫還原的過程中，會有氧原子分離出來，此時的氧原子具有強的氧化和分解能力。它能迅速穿透細菌的細胞膜，與其發生不可逆的反應，殺死細菌，它還可與病毒包膜發生氧化反應，迅速殺死病毒。當氧原子碰到有機或無機物時還會發生氧化作用，去除空氣中的有機污染物及異味，生成無毒的物質，在消毒完成后分解為氧和水。H2O2的使用主要取決于氧化程度，并且不同濃度的過氧化氫具有不同的用途。
過氧化氫滅菌方式：
一.汽化過氧化氫
汽化過氧化氫（VHP）滅菌原理是指30%-35%濃度的過氧化氫消毒劑經發生器汽化產生氣態過氧化氫，以氣體分子形式擴散到滅菌空間中。
二.過氧化氫干霧
過氧化氫干霧滅菌系統的工作原理是使用電機帶動葉片高速旋轉，將液態過氧化氫打碎至直徑小于10微米的液體顆粒，形成氣溶膠狀態的干霧，向潔凈空間噴灑進行消毒工作。這種消毒方式適用于大空間（200m3以上）的?滅菌，例如GMP潔凈車間和醫院手術室等。
三.過氧化氫等離子體
過氧化氫等離子滅菌是將H2O2注入具有一定真空度和溫度的滅菌倉內，經過汽化，覆蓋到管倉的內外表面，隨后啟動等離子電源，激發出等離子體，破壞微生物，當等離子體電源停止工作時，管腔表面的過氧化氫就轉變成水和氧氣。目前汽化過氧化氫滅菌方法是各國藥典、藥品生產質量管理規范(GMP)、消毒滅菌技術規范所推薦的方法，主要用于密閉空間（如GMP車間、醫院病房、實驗動物中心、小型倉庫等）和各種人造設備（如隔離器、冷凍干燥機、孵化箱、傳遞窗、生物安全柜、壓力蒸汽滅菌器、過濾器和各類風管及管道、食品藥品包裝等）的消毒滅菌。
滅菌過程中濕度的測量：
在滅菌過程中，起主要滅菌作用的因素是水和過氧化氫在物體表面的總沉積，相對濕度、過氧化氫蒸汽濃度與冷凝點的水平是比較敏感的因素。不同的濕度水平和汽化過氧化氫濃度會影響相對飽和度，而相對飽和度是指示空氣與水蒸氣和汽化過氧化氫的混合物何時開始冷凝的參數。
汽化過氧化氫（VHP）的滅菌周期為2-3小時。該滅菌方式在啟動消毒程序之前必須對滅菌空間除濕，避免出現冷凝的情況，且在消毒的過程中，氣態過氧化氫會不斷地分解產生水蒸氣和氧氣，需全程調節濕度避免結露。在消毒完成后，還需通風將剩余消毒氣體排出，直至接觸表面殘留濃度小于1ppm。由此在汽化過氧化氫消毒過程中測量濕度至關重要。
羅卓尼克過氧化氫探頭：
PST集團旗下品牌Rotronic（羅卓尼克）開發的HC2A-S-HH過氧化氫探頭是在敏感元件上建立了耐過氧化氫的飽和材料，可以直接測量過氧化氫環境中的濕度，獲得精確的測量值，無需任何專門防護。特點：
1.測量相對濕度，溫度和露點
2.HYGROMER HH-1傳感器耐受過氧化氫環境
3.測量精度高
4.符合FDA CFR21 Part 11/GAMP
HYGROMER HH-1傳感器耐受過氧化氫，其性能已在多次真實的過氧化氫環境中得到驗證。HYGROMER HH-1傳感器置于平均H2O2濃度為800ppm的環境中，在環境溫度（最高38℃）下，5次運行的80個循環中，對傳感器進行了400小時的測試，結果顯示HYGROMER HH-1依然在符合規格參數下正常工作，沒有變化。在過氧化氫滅菌周期期間或之后，濕度測量沒有發生漂移。
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