勻膠機又稱旋涂機、甩膠機、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、真空鍍膜機
勻膠機適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、光學及表面涂覆等工藝,主要應用于溶膠-凝膠(sol-gel)實驗中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關
勻膠機旋涂儀 可設定存儲7個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。
勻膠機旋涂儀 每個涂敷工藝過程可以設置25步不同的速度狀態;
勻膠機旋涂儀 液晶顯示屏可以實時顯示:
1. 第N個涂敷工藝過程
2. 所處工作段
3. 真空吸片狀態。
4. 設置時間;及實時運行時間。
5. 設置速度;及實時速度狀態。
中英文兩套操作系統供選擇。
人機交互式對話,簡潔,明了
勻膠機旋涂儀器空吸片系統更安全:
勻膠機旋涂儀安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,
必須在安全的真空度下,電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。
勻膠機旋涂儀 變頻調速電機,轉速高:
300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 %
高轉速10000轉/分
勻膠機旋涂儀 不銹鋼機殼 NPP材質工作腔
不銹鋼機殼,外表面潔凈光亮。美觀,方便清洗。
勻膠機旋涂儀 NPP材質工作腔。
勻膠機旋涂儀 單相交流電源:220V.50Hz
勻膠機旋涂儀 電機功率:150W
勻膠機旋涂儀 旋轉真空吸盤直徑:4英寸
基片直徑10—150mm可接受訂貨。
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
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