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真空度測試常見的有破壞性測試方法和無損檢測方法。

破壞性測試方法常見的是采用針頭刺入容器頂空，通過壓力（真空度）傳感器探測獲取真空度，該測試方法在一定程度上會(huì)受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小頂空容器中表現(xiàn)尤為明顯。應(yīng)用是用于粗略的進(jìn)行密閉容器完整性測試（CCIT）評(píng)估，方法是將高真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀察瓶內(nèi)真空度。如果里面還有一定真空度，即里面的壓力是微負(fù)壓，說明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說明瓶子是漏的。

如果是用于工藝的優(yōu)化和標(biāo)準(zhǔn)的制定，通常會(huì)采用無損的真空度測試方法。無損的真空度測試方法常見的是激光法（即調(diào)頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì)在一定波段下有激光吸收，并且會(huì)得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰高或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和頂空總壓力成正比。采用激光法能夠?qū)θ萜鬟M(jìn)行無損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar。

測試原理

真空度測試儀采用磁控放電法進(jìn)行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離，施加電場脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場。對于不同的真空管型號(hào)(管型)，由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開距、同等真空度、同等電場與磁場的條件下，離子電流的大小也不相同。通過實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測知離子電流后，就可以通過查詢該管型的離子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測試滅弧室的真空度時(shí)，為了提高其測試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內(nèi)。而使用磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場測試靈敏度。

真空度測試儀將滅弧室的兩觸頭拉開一定的開距，施加脈沖高壓，將電磁線圈環(huán)繞于滅弧室的外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場，這樣在脈沖磁場的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運(yùn)動(dòng)。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當(dāng)測知離子電流后，通過離子電流一真空度曲線，由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成真空度的計(jì)算，并顯示真空度值。

采用磁控放電法進(jìn)行測量。將真空開關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開一定的距離，施加電場脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場，離子電流的大小也不相同。