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勻膠機是在旋轉的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。

選購技巧

從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節

旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。

真空吸附系統的構造

真空泵一定要無油的，壓力標定準確，油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況。

材質的選擇

對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。

旋轉涂覆技術

旋轉涂覆技術所使用的設備是勻膠機。又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。

從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。

(1)旋轉速度

轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。

(2)真空吸附系統

真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。有的勻膠機通過聯動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。