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鎢燈絲掃描電子顯微鏡
SEM3100
SEM3100具有出色的成像質量和豐富的擴展性，將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發揮到極大。分辨率可達3 nm，超大樣品倉，可容納最大直徑為370mm的樣品，以及諸多細節功能設計和特色功能，助您在顯微成像的世界中盡情探索。
高性能高指標
SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有超高的分辨率和出色的成像質量。放大倍率連續可調，在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，極大地擴展了SEM3100的應用范圍。
豐富的擴展性
掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進行樣品表面的微區成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測器都可以在SEM3100上進行集成。
背散射探測器
二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下，樣品的荷電效應明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進行成分觀察。
能譜分析
水泥建筑材料SE和EDS分析結果，加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層
特色功能，更高的效率和更好的性能
光學導航
SEM3100標配的倉內攝像頭可拍攝高清樣品臺照片，助您快速定位樣品。
旋鈕控制板和鼠標手勢
可通過旋鈕控制板或鼠標滾輪/手勢快速調節聚焦和像散等參數，極大地提高成像效率。
動態像散
直觀反映像散程度，通過鼠標點擊即可快速調節像散至最佳。
動態圖
結果圖
快速調節圖像旋轉
拖動一條線，圖像立刻“擺正角度"。
動態圖
結果圖
電子光學系統
分辨率 3 nm @ 30 kV
放大倍率 1 x~300,000 x
加速電壓 1 kV~30 kV
電子槍類型 預對中型發叉式鎢燈絲電子槍
成像系統
探測器（標配） 二次電子探測器 (ETD)
探測器（選配） 背散射電子探測器、能譜儀EDS等
圖像尺寸 ≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式 全自動閥
渦輪分子泵 240 L/S
機械泵 12 m3/h(50 Hz)
攝像頭 光學導航 樣品倉內監控
樣品室真空度 高真空下優于9 X 10-4 Pa
樣品臺配置 三軸自動(標配) 五軸自動(選配)
