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　　在選購勻膠機時需要考慮哪些問題？
 

　　(1)旋轉速度
 

　　轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，會導致無法獲得準確的實驗數據。勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。
 

　　(2)真空吸附系統
 

　　真空泵要無油的，壓力標定準確，油污可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況。
 

　　(3)材質的選擇
 

　　對于半導體化行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，因為成本低，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不理想，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。
 

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