HHXMF05系列數字式氣體質量流量計/控制器,采用了緊湊型設計,體積小巧精致,產品堅固耐用。產品使用了線性化校正電路和EMI保護,具備安全可靠、性能穩定、低功耗、壽命長等特點。
::產品描述::
北京華旭世紀HXMF05系列氣體質量流量計/控制器,采用了數字式技術,相比模擬技術,HXMF05系列產品提高了精度和數字化程度。它采用了毛細管熱傳感技術和熱溫差原理,來測量和控制氣體的質量流量。由于熱溫差只和氣體的質量流量有關,因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
HXMF05系列小流量熱式質量流量產品,采用了緊湊型設計,體積小巧精致,產品堅固耐用。產品使用了線性化校正電路和EMI保護,具備安全可靠、性能穩定、低功耗、壽命長等特點。
在數據傳輸上,不但具備傳統的有線式,還具備局域網無線傳輸數據,互聯網遠程數據監控云平臺等強大功能。
::產品特色::
● 數字化技術,更快速的響應時間
● 優于1%FS的高精度
● 出色的*穩定性
● 可測量腐蝕性氣體,堅固耐用
● 精巧的外觀設計,全面的安全保護電路及EMI
● 可配顯示表,顯示瞬時流量
● 諸多選項:高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸
遠程數據監控云平臺、短信報警、郵件報警等
::典型應用::
· 光伏及晶體制備 · 真空行業及鍍膜 · 泄漏檢測
· 爐窯及微反應裝置 · 半導體行業 · 大學/研究所
· 分析儀器 · 氣體混合配比 · 計量及計價
· 燃料電池 · 燃燒測試 · 其它氣體測控場合
::性能指標::
介質要求:與介質兼容的氣體,支持腐蝕性氣體
介質種類:客戶,也可現場更改-需咨詢我們
標定工況:0℃ @ 1 atm(氮氣)
測控量程:從0~5sccm到0~250slm任選,可定制更高流量范圍
量程比:50:1
精度:±0.35%F.S.或±1.0%RD,取數值大者(FS-滿量程 RD-讀數)
重復性:±0.2%F.S.
流量分辨率:0.1%F.S.
響應時間:1.5S
閥門狀態:常閉(僅控制器,流量計無閥門)
工作溫度:5~45℃
工作濕度:0~*RH(無冷凝)
工作壓差范圍:流量計 0.02MPa~3MPa
控制器 0.1~0.5MPa(>10SLM為0.1~0.3MPa)
大耐壓:3MPa,可選高壓選項10MPa
輸入輸出信號:標準為RS485,可選0~5V
通訊協議:Modbus
供電電壓:24VDC@250mA
電氣接口:DB15pin,2XRJ45
泄漏率:≤1×10-10次方Pa·立方米 /S(He)
接液材質:316L SS
密封材料:根據氣體種類由廠家選擇或客戶,包括:PTF、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ,等
管道接頭:1/4〃VCR,1/8、1/4、3/8雙卡套,3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸:長×寬×高:127×30×128.5mm
產品重量:流量計0.75kg
控制器0.9kg
::訂購信息::
· 流量計或控制器 · 氣體種類 · 流量范圍
· 工作溫度 · 入口壓力 · 出口壓力
· 管道連接尺寸和類型 · 輸入/輸出信號
· 安裝姿勢 · 選項及其它特殊要求:請咨詢我們
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