優勢：在微電子和半導體行業中，檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關重要。檢測缺陷的速度越快，

視場寬敞30%:DM3 XL 檢驗系統憑借大視場幫助您的團隊更快地識別缺陷，提高您的收益率。充分利用*的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。更更多細節盡收眼底，工作更高效

看到更多細節意味著工作更高效。

為快速掃描達到 6" 的大組件，DM3 XL 提供*的宏觀物鏡。中顯恒業，進口科學儀器提供商。

利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm的視場–比其他常規掃描物鏡寬敞30%

在宏觀物鏡下，缺陷無所遁形：

提高您的收益率

可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足的區域

檢測不均勻的徑向膜厚度多細節盡收眼底，工作更高效

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。

在所有亮度等級下實現真彩色成像

自由調節

無需更換燈泡 – 無停機時間

可復制的結果

由于 LED 使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節約潛力。

光學“高手”

DM3 XL 讓您以實惠的價格享受到的光學性能。

采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑：以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實現各種形貌的可視化。

借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。

您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。

不同樣品 – 可變載物臺插件

無論您想要檢驗的樣品是哪種類型，尺寸如何，均有種類豐富的載物臺插件供您選擇：

載物臺尺寸：150 mm x 150 mm

載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座

快速的粗略或精準載物臺定位

工作舒適直觀

彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 對分辨率、對比和景深的基本設置進行簡化，有助于提升您的工作速度，并zui大程度減少操作失誤。

直觀明了的功能幫助您的團隊更快速地交付*結果。

得益于可輕松操作的控件，用戶可在切換對比度或照明時，雙手繼續操作顯微鏡，雙眼專注于樣品之上。

右手可輕松操控光強控制器

使用可變人體工學鏡筒和調焦旋鈕，根據不同身高調整顯微鏡