產品型號

1100℃帶校準系統管式爐GSL-1100X-50-LVT

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要。

主要特點

爐體結構

爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，大程度減少能量損失。

高度可調的不銹鋼外殼。

背部可以調整的三個旋鈕，靈活改變爐子的垂直位置（從控制盒平臺到爐膛下端）。

多種配置適用于各種熱處理需求。

 多種位置可調                    可用作立式馬弗爐         固定旋鈕進行位置可調

認證

·所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

質保期 

一年保修，終身技術支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

技術參數

1、電壓：AC 220V, 50Hz

2、大功率：1.5KW

3、加熱區：300 mm

4、極限溫度: 1100℃（小于30min）

5、推薦升溫速率:≤10℃/min

6、工作溫度: 1000℃

7、爐管尺寸及材質

石英管Φ50×610mm；包括氧化鋁管堵用于阻止來自內部管子的熱輻射（管堵在加熱前必須*插入爐腔）。

8、溫控系統

全自動PID自整定功能

30 段可編程控制器，方便客戶按自己要求設定升溫曲線

設有超溫及斷偶保護

K型熱電偶

控溫精度: ±1 ℃

9、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

10、密封法蘭及真空連接

不銹鋼密封法蘭(左端進氣口為1/4”軟管接口, 右端抽氣口為KF-25接口)

標準的1/4“帶針閥的寶塔嘴接口

      為了可以使用高壓氣體，您可以用1/4＂軟管接頭替換標準寶塔嘴管接頭

產品規格

外形尺寸：260×380×400 mm (D x H x W)；重量：45kg

可選配件

石英管堵 (可提高爐管內部真空度及潔凈度)

密封法蘭及真空連接

為了達到高真空，可以用KF25轉接頭替換標準寶塔嘴接頭

可選真空連接：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

KF25不銹鋼波紋管

KF25快速裝卸卡箍

真空系統

包括雙旋片機械泵(220V, 226 L/m) 油霧過濾器& KF-D25 不銹鋼真空波紋管和KF25卡箍

真空度可達到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（參考值）

分子泵：1E-5 Torr（參考值）

應用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊