產品型號

      1200℃雙溫立式爐OTF-1200X-4-VT-II

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體結構，帶有風冷系統，殼體表面溫度<60℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、采用高純氧化鋁作為爐膛材料，其表面涂有美國進口1750℃氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時延長使用壽

　　命。

4、采用PID方式進行溫度調節，可設置30段升降溫程序。

5、爐管兩端裝有不銹鋼密封法蘭、真空計、閥門。

6、上端密封法蘭內部焊有不銹鋼勾，用于懸掛樣品。

7、已通過CE認證。

技術參數

    1、電源：AC 208V-240V  50Hz/60Hz

     2、大功率：3KW

     3、石英管：外徑Ø100mm，內徑Ø95mm，長1000mm

     4、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯，可延長期使用壽命

     5、加熱區域：總長400mm，溫區I為200mm，溫區II為200mm（兩個溫區可設置同樣的溫度）

     6、工作溫度：每個溫區極限1200℃（<1h），連續工作1100℃

     7、大加熱速率：≤20℃/min

     8、控溫精度：±1℃

    9、熱電偶：K型熱電偶進行測溫

    10、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

    11、漏氣率：<5mtorr/min

產品規格

　尺寸：不含移動架550mm×380mm×520mm，含移動架600mm×600mm×1200mm

　重量：80kg（不含移動架）

可選配件

    1、鉸鏈式法蘭

    2、防腐型數字式真空顯示計

    3、KF25轉接頭（可增加抽氣速率，獲得較高的真空）

    4、VCR雙卡套接頭（可工作在惰性氣體或還原氣體條件下）

    5、高溫絲（摻鉬鐵鉻鋁，可達1100℃）

注意事項

    1、爐管內的正壓不可高于0.02Mpa。

    2、由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。建議在本司選購減壓閥。本司減壓

　　　閥量程為0.01Mpa-0.1Mpa，使用時會更加精確安全。

    3、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。

    4、進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

    5、石英管的長時間使用溫度<1100℃。

    6、對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關

　　　注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂、法蘭飛出

　　　等）。

質量認證

   1、CE認證。

   2、所有電器元件（>24V）都通過UL、MET、CSA認證。

   3、若用戶承擔認證費用，本司保證單臺設備通過德國TIV認證或CAS認證。