產品型號

1200℃開啟式立式爐OTF-1200X-80-VT

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重100kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環風冷系統，殼體表面溫度<55℃。

2、開啟式爐體更方便于爐管的更換。

3、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和潔凈度，同時延長使用壽命。

4、PID控制器，可以設置30段升降溫程序。

5、已通過CE認證。

技術參數

1、電源：AC 220V  50Hz  6KW

2、石英管：外徑Ø80mm，內徑Ø72mm，長1000mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區域：440mm

5、工作溫度：極限溫度1200℃（<1h），連續工作1100℃

6、大升降溫速率：20℃/min

7、控溫精度：±1℃

8、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

9、漏氣率：<5mtorr/min

產品規格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：80kg

可選配件

1、鉸鏈式法蘭

2、防腐型數字式真空顯示計

3、KF25轉接頭

4、VCR雙卡套接頭

5、滑軌法蘭

6、移動爐架