NIST SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品要用于校準表面分析中的濺射深度標度和腐蝕速率。

NIST SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品要用于校準表面分析中的濺射深度標度和腐蝕速率。其周期性結(jié)構(gòu)由八個定義明確的金屬/金屬界面組成，可用于在多個深度獲得精確校準。

 SRM 2135c 已通過總鉻 (Cr) 和鎳 (Ni) 厚度、單元素層間均勻性、Ni 和 Cr 雙層均勻性（周期性）和單層厚度 [1-3] 的認證。以質(zhì)量/面積為單位表示的認證厚度值在題為“認證值和不確定性”的部分中給出。

NIST SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標準品由拋光的硅 (100) 基板上的九個交替金屬薄膜層、五層純鉻和四層純鎳組成。各個層的厚度通常為 57 nm（Cr 為 57 nm，Ni 為 56 nm）。經(jīng)認證的樣品面積由基材的全寬（1.0 厘米）和以 2.54 厘米長的基材為中心的 2.0 厘米長度確定（見圖 l）。

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