布魯克 DektakXT 臺階儀(探針式表面輪廓儀)是一項創新性的設計,可以提供的重現性,重現性低于4?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak 技術創新的,更加鞏固了其行業地位。通過整合其行業產品,DektakXT 實現了性能。操作簡易,從研發到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代Dektak臺階儀能夠在微電子,半導體, 太陽能、超高亮度發光二極管(LED)、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。
1.DektakXT 能實現:
的性能,臺階高度重現性低于 4?
– Single-arch 設計提供具突破性的掃描穩定性
– 的“智能電子器件”設立了新低噪音基準
– 新硬件配置使數據采集時間縮短 40%
– 64-bit, Vision64 同步數據處理軟件,使數據 分析速度提高了十倍
效率,操作簡易
– 直觀的 Vision64 用戶界面,操作簡易
– 針尖自動校準系統,讓用戶輕松更換針尖
探針輪廓儀領域,的價值
– 布魯克(Bruker)以實惠的配置實現 的性能
– 單傳感器設計,提供單一平面上低作用力和寬掃 描范圍
2.40 多年不斷創新
建立在 40 多年的探針輪廓技術創新的知識與經驗之上 — 部薄膜測試儀,部基于微處理器的輪廓儀,和 部 300mm 自動輪廓儀—DektakXT 繼承了以往的 “”。新的 DektakXT 是首部使用 single-arch 設計的探針輪廓儀,首部內置真彩高清光學攝像機,及安裝 64-bit 并行處理架構已獲得測量及操作效率的探針輪廓儀。
3.設計*
探針輪廓儀的性能受三個基本因素影響:測量重現性,分析結果所需的時間和操作的簡易程度。這些因素直接影響了數據的質量和操作效率。 DektakXT 利用全新結構和和軟件來實現以上三個因素,以獲得的使用效果。
實現測量的可重現性
DektakXT 的設計使其在測量臺階高度重現性方面具有優異的表現,臺階高度重現性可低于 4?。使用 single-arch 結構比原先的懸臂梁設計更加穩固,降低了對不利環境條件的敏感性,如聲音和震動噪音。憑借 single-arch 結構的輔助, Bruker 大大提高了電子器件的穩定性,降低了溫度變化影響,及使用現代處理器。
提高數據采集和分析速度
利用的直接驅動掃描平臺,Dektak XT 大大提高了大范圍掃描 3D 形貌或者對于表面應力長程掃描(就探針輪廓儀而言,通常是耗時的)的掃描速度 , 減少了掃描的時間。在保證行業的質量和重現性前提下,Dektak XT 可以將數據采集處理的速度提高 40%。另外,DektakXT采用 Vision64操作軟件,提高了大范圍 3D 形貌圖的高數據量處理速度,并且加快了濾波器的工作速度和多模式掃描時的數據分析。
讓一切變得輕松
對多用戶儀器而言,能快速輕松更換探針以適應不同應用是必要的。DektakXT 新的針尖自動校準, 消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一創新讓 其他困難并耗時的任務變得輕松且快速。為盡量滿 足使用的要求,Bruker 提供了范圍廣泛的標準和客戶定制探針規格,包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。
完善的操作和分析系統
與 DektakXT 的創新性設計相得益彰的配置是 Bruker 的 Vision64 操作分析軟件。Vision64 提供了業界實用精簡的圖示用戶界面,結合智能結構,具備可視化工作流程及各種自助設定功能,以滿足用戶快速并全面進行數據收集和分析。
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