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光學原子力顯微鏡(光學一體機)

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光學原子力顯微系統(光學一體機)


FM-Nanoview Op-AFM

系統簡介:

◆ 光學金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設計,功能強大;

◆ 同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響;

◆ 同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能;

◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結構非常穩定,抗干擾性強;
◆ 精密探針定位裝置,激光光斑對準調節非常簡便;
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描;
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;

◆ 超高倍光學定位系統,實現探針和樣品掃描區域精確定位;
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優于98%。

技術參數 Technical Parameters

工作模式

接觸模式、輕敲模式

光學目鏡

10X

選配模式

摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力

照明方式

LED柯勒照明系統

力譜曲線

F-Z力曲線、RMS-Z曲線

光學調焦

粗微動手動調焦

XY掃描范圍

50×50um,可選20×20um100×100um

攝像頭

500萬像素CMOS傳感器

Z掃描范圍

5um,可選2.5um10um

顯示屏

10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能

掃描分辨率

橫向0.2nm,縱向0.05nm

掃描速率

0.6Hz~30Hz

樣品尺寸

Φ≤68mmH≤20mm

掃描角度

0~360°

樣品臺行程

25×25mm

運行環境

Windows XP/7/8/10操作系統

光學物鏡

5X/10X/20X/50X平場復消色差物鏡

通信接口

USB2.0/3.0







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