Park Systems原子力顯微鏡 NX-20
儀器簡介:
NX-20具有的形貌表征能力，完善的設(shè)計使其保證了掃描的高精確度和數(shù)據(jù)的高重復(fù)性。高度自動化的軟硬件，極大地避免了人為操作的失誤和誤差，提高了工作效率測量，降低了勞動強度。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，超高的掃描器線性度，極低的閉環(huán)檢測器噪聲水平，和zui小的系統(tǒng)熱漂移量。作為一款界面友好，操作簡便的儀器，NX-20會成為納米研究領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)界的得力助手。
Park Systems原子力顯微鏡 NX-20技術(shù)參數(shù)：
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（全量程掃描）
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強力掃描器
掃描范圍15μm（可選30μm）
定位檢測噪聲：0.03nm（帶寬：1kHz）
共振頻率：>9kHz
表面成像噪聲：0.03nm
樣品臺
樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）
樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm
樣品重量：zui大500g
樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）
主要特點：
一、高精確性和高重復(fù)性
● 探針幾乎沒有損耗，保證了圖像的高分辨率
● 非接觸模式下zui快的掃描速度
● 的雙路閉環(huán)解耦合XY平板式掃描器
● 業(yè)內(nèi)zui小的系統(tǒng)漂移和遲滯
二、低噪聲檢測器精確測量樣品形貌
●采用業(yè)界的低噪聲檢測器測量樣品形貌
● 消除了蠕變效應(yīng)導(dǎo)致的邊緣超調(diào)誤差
● 高速掃描過程中的精確形貌檢測記錄
●業(yè)界的極小正反測量偏離量，小于0.15%
三、Non-Contact™(真正非接觸) 模式極大降低了使用成本
●相對于傳統(tǒng)掃描模式，將探針壽命提高了10倍以上
●極低的探針損耗極大地延長了探針高分辨掃描壽命
●對樣品幾乎沒有磨損
