CNC影像測(cè)量系統(tǒng)
「NEXIV VMZ-S4540」「NEXIV VMZ-S6555」
「NEXIV VMZ-S6555」
Nikon Solution株式會(huì)社發(fā)售在線、自動(dòng)尺寸測(cè)定機(jī)CNC影像測(cè)量系統(tǒng)全新系列中的2種大行程機(jī)型「NEXIV VMZ-S4540」和「NEXIV VMZ-S6555」。
CNC影像測(cè)量系統(tǒng)「NEXIV」是運(yùn)用尼康的光學(xué)和圖像處理技術(shù)，自動(dòng)測(cè)量零部件等尺寸的裝置。通過圖像分析與高速準(zhǔn)確的邊緣檢測(cè)，對(duì)于復(fù)雜特殊形狀的被檢物品也能夠快速地進(jìn)行測(cè)量。
近年來，隨著對(duì)零部件的小型化、高性能化，車載電子產(chǎn)品的需求增加，自動(dòng)化生產(chǎn)線中，對(duì)于大量零部件尺寸的高速檢測(cè)需求也在擴(kuò)大。
由此，「NEXIV VMZ-S」系列新機(jī)型在保持了以往機(jī)型高精度的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。「NEXIV VMZ-S4540」和「NEXIV VMZ-S6555」是繼2020年11月發(fā)售的「NEXIV VMZ-S3020」的后續(xù)大行程機(jī)型。
至此本系列的小中大3種機(jī)型全部發(fā)售。用戶可以根據(jù)被檢物大小、實(shí)際應(yīng)用和工作環(huán)境的不同，選擇的機(jī)型。另外，使用遠(yuǎn)程控制軟件「Remote Control SDK」（另外采購），可以通過與自動(dòng)傳輸系統(tǒng)的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)及遠(yuǎn)程控制的自動(dòng)傳輸與自動(dòng)測(cè)量。
主要特點(diǎn)
1.高產(chǎn)能
「NEXIV VMZ-S」系列在高精度線性光柵尺和精密載物臺(tái)提供高精度測(cè)量的同時(shí)，通過載物臺(tái)移動(dòng)和圖像處理的高速化，與以往機(jī)型「NEXIV VMZ-R」系列產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了更高的產(chǎn)能。在保證了客戶的精度和再現(xiàn)性的同時(shí)，縮短了測(cè)量時(shí)間。
2.高品質(zhì)圖像，高精度測(cè)量
通過無失真的高品質(zhì)圖像，即使不在視野中心附近也能得到可靠的測(cè)量結(jié)果。另外，根據(jù)被檢測(cè)物品的形狀通過同軸表面光、底部透射光、8個(gè)扇面環(huán)形光的選擇與光量?照射方向的調(diào)整，可以敏銳的捕捉到難以檢測(cè)的邊緣。并且，通過1000點(diǎn)/秒的高速激光掃描，可以取得樣品的截面形狀，也可以對(duì)應(yīng)高度方向的輪廓評(píng)價(jià)。滿足各種各樣零部件的測(cè)量需求。
3.的實(shí)用性
通過系列產(chǎn)品通用的尺寸測(cè)量軟件「AutoMeasure」，可以暢快有效地進(jìn)行尺寸測(cè)量。另外，以簡(jiǎn)單形狀為對(duì)象，增加了將測(cè)量程序制作工序的一部分自動(dòng)化的功能。
而且，為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求，用于操控載物臺(tái)和測(cè)量頭移動(dòng)的操縱桿單元，運(yùn)用了更易操作的設(shè)計(jì)。
4.使用「遠(yuǎn)程控制SDK」實(shí)現(xiàn)對(duì)「NEXIV」的遠(yuǎn)程操控
使用遠(yuǎn)程操控解決方案軟件「Remote Control SDK」（另外采購），通過網(wǎng)絡(luò)可以遠(yuǎn)程操控最多10臺(tái)「NEXIV」。可以從遠(yuǎn)離現(xiàn)場(chǎng)的控制室或辦公室等處遠(yuǎn)程控制「NEXIV」機(jī)臺(tái)，做到統(tǒng)一的測(cè)量和數(shù)據(jù)管理，以達(dá)到減少人員配置，提高生產(chǎn)效率的目的。
5.與自動(dòng)傳輸系統(tǒng)結(jié)合，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)傳輸及自動(dòng)測(cè)量
特別在半導(dǎo)體領(lǐng)域，生產(chǎn)車間無人化、自動(dòng)化的趨勢(shì)推動(dòng)了對(duì)尺寸測(cè)量的自動(dòng)化需求。「NEXIV VMZ-S」系列產(chǎn)品通過與本公司制造或其他公司制造的晶圓自動(dòng)傳輸系統(tǒng)結(jié)合，支持從半導(dǎo)體晶圓的傳輸?shù)綔y(cè)量的自動(dòng)化。
遠(yuǎn)程控制SDK軟件與自動(dòng)傳輸系統(tǒng)結(jié)合使用的NEXIV操作實(shí)例圖
主要規(guī)格
| | 「NEXIV VMZ-S4540」 | 「NEXIV VMZ-S6555」 |
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量程
（X × Y × Z） | 450 × 400 × 200 mm（TZ型使用低倍物鏡時(shí)：400 × 400 × 200 mm） | 650 × 550 × 200 mm（TZ型使用低倍物鏡時(shí)：600 × 550 × 200 mm） |
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| 最小讀數(shù) | 0.01 μm |
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| 承載重量 | 40 kg（保證精度的載重：20 kg） | 50 kg（保證精度的載重：30 kg） |
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測(cè)量精度
(L為測(cè)量長(zhǎng)度(㎜）) | EUX,MPE, EUY,MPE (X軸、Y軸精度) : 1.2+4L/1000μm
EUXY,MPE（XY軸精度） : 2.0+4L/1000μm
EUZ,MPE （Z軸精度） : 1.2+5L/1000μm |
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| 相機(jī) | 黑白/彩色 1/3英寸CMOS |
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變焦鏡頭型號(hào)*
（倍率?視場(chǎng)） | ?1型： （0.5～7.5x ?9.33 x 7～0.622 x 0.467mm）
?2型： （1～15x ?4.67 x 3.5～0.311 x 0.233mm）
?3型： （2～30x ? 2.33 x 1.75～0.155 x 0.117mm）
?4型： （4～60x ?1.17 x 0.88～0.078 x 0.058mm）
?TZ型 ：（1～120x ?4.67 x 3.5～0.039 x 0.029mm）
?A型： （0.35～3.5x?13.3 x 10～1.33 x 1mm） |
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| 自動(dòng)對(duì)焦 | 激光自動(dòng)對(duì)焦（A型是選配）、圖像自動(dòng)對(duì)焦 |
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| 照明*1 | ?1～4型: 同軸表面光、底部透射光、8個(gè)扇面的環(huán)形光
（全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度）
?TZ型: 同軸表面光、底部光(VMZ-S3020的低倍除外)、暗場(chǎng)照明
?A型: 同軸表面光、底部光、8個(gè)扇面的環(huán)形光
（全部采用白色LED光源/1種角度） |
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電源規(guī)格/
額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A |
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尺寸*2
(W×D×H/重量) | 本體+底座: 1000 × 1340 × 1818 mm /約510 kg
控制箱:190 × 450 × 450 mm /約12 kg | 本體+底座: 1200 × 1640 × 1818 mm /約740 kg
控制箱:190 × 450 × 450 mm /約12 kg |
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占地大小
（W×D） | 3000 × 3000 mm | 3200 × 3300 mm |
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※1 根據(jù)應(yīng)用的不同，有6種鏡頭型號(hào)可供選擇。不同型號(hào)鏡頭所配備的燈光照明系統(tǒng)也會(huì)有所不同。※2 包含維護(hù)空間。
