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影響三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量精度的因素有很多，例如：機(jī)器的精度、所用測(cè)量頭的類(lèi)型（接觸式或掃描式）或最佳接觸方式，但其中測(cè)量針（通常是規(guī)格和配置）針）也有助于測(cè)量的準(zhǔn)確性

選擇測(cè)針影響機(jī)器精度的因素主要有4個(gè)：

1.測(cè)針球球度（圓度）：測(cè)量針尖的圓度

大多數(shù)測(cè)量針尖是球形的，由合成紅寶石制成。測(cè)量針尖的圓度影響機(jī)器精度的10%。最常見(jiàn)的測(cè)量針尖圓度為 5 級(jí)和 10 級(jí)，圓度為：0.13 µm 和 0.25 µm。

2、測(cè)針彎曲：測(cè)針的彎曲能力

為了減少這一因素的影響，所有測(cè)針在使用前都用校準(zhǔn)球進(jìn)行校準(zhǔn)。長(zhǎng)測(cè)量針和延長(zhǎng)尖均由碳纖維制成，以減輕重量和剛度。

3.熱穩(wěn)定性：溫度穩(wěn)定性

溫度變化也是測(cè)量誤差的一個(gè)原因。選擇測(cè)量針材料將減少環(huán)境條件變化的影響，提高測(cè)量精度。

4.測(cè)針尖材料選擇：選擇測(cè)量針尖的材料

在大多數(shù)應(yīng)用中，測(cè)量頭由紅寶石制成

還有一些其他原因，例如：

- 測(cè)量針的螺紋尺寸適合所選傳感器

- 測(cè)針類(lèi)型：直型、星型、旋轉(zhuǎn)型

- 測(cè)量針頭類(lèi)型：球形、盤(pán)形、圓柱形或半球形

- 測(cè)量頭的尺寸最大限度地減少了粗糙表面對(duì)測(cè)量精度的影響。