中華人民共和國國家標準：電子級水
（GB/T 11446.1-2013）
1 范圍
GB/T 11446 的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢測規則。
本部分使用與電子和半導體工業永高純清洗用水。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是需要的。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改）適用于本文件。
GB/T 11446.3-2013 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4-2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5-2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6-2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7-2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8-2013 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T 11446.9-2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10-2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
3.1
電子級水 electronic grade water
電子和半導體工藝過程中所用的高純水。
3.2
電阻率 resistivity
在規定溫度下，1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示，單位為歐姆厘米（Ω·cm）,純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm(25℃)。
3.3
全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。
3.4
可溶性硅 soluble silicon
以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。
3.5微粒性物質 granular matter
除氣體外，以非液體分散在水中，并形成非均相混合物的物質。
3.6總有機碳 total organic carbon；TOC
水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。
3.7吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。
3.8凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。
3.9絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是再凝聚作用后緩慢進行，可除去水中更細的微粒。
3.10砂濾器 sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和渾濁物的裝置。
3.11活性碳過濾器 activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
3.12離子交換 ion exchange
一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質并無實質性結構變化。3.13離子交換樹脂 ion-exchange resin
一種合成的有機離子交換材料。
3.14去離子水 deionized water
經過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質的高純水
3.15再生 regeneration
離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中，用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。
3.16復合床 complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中，將兩柱串聯，使水依次通過兩個柱而被純化。
3.17混合床 mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當于許多復合床串聯使用。
3.18電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分割成一系列小室。水流通過小室時，在電流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動，但不能通過陽膜；陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。
3.19逆向滲透 reverse osmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開，并在弄水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中，達到分離提純的目的。
3.20反滲透膜 reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0.02μm或更小，可用于除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。
3.21微孔膜濾器 membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大于0.01μm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.22超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法，在一定壓力下使水流過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。
3.23終端 terminal
高純水生產流程中經過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點。
3.24無菌 sterile
不含任何活有機體（不論是活躍的或休眠的）。
3.25PH
水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。
4 分類和標記
4.1 分類
電子級水分為四個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級。
4.2 標記
Ⅰ級電子級水標記為：EW-Ⅰ。
Ⅱ級電子級水標記為：EW-Ⅱ。
Ⅲ級電子級水標記為：EW-Ⅲ。
Ⅳ級電子級水標記為：EW-Ⅳ。
5 要求
電子級水的技術指標應符合表1規定。
表1 電子級水的技術指標
項目 | 技術指標 | ||||
EW-Ⅰ | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ | ||
電阻率（25℃）/MΩ·cm | ≥18（5%時間不低于17） | ≥15（5%時間不低于13） | ≥12 | ≥0.5 | |
全硅/（μg/L） | ≤2 | ≤10 | ≤50 | ≤1000 | |
微粒數/（個/L） | 0.05μm~0.1μm | 500 | - | - | - |
0.1μm~0.2μm | 300 | - | - | - | |
0.2μm~0.3μm | 50 | - | - | - | |
0.3μm~0.5μm | 20 | - | - | - | |
＞0.5μm | 4 | - | - | - | |
細菌個數/（個/mL） | ≤0.01 | ≤0.1 | ≤10 | ≤100 | |
銅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鋅/（μg/L） | ≤0.2 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
鎳/（μg/L） | ≤0.1 | ≤1 | ≤2 | ≤500 | |
鈉/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤1000 | |
鉀/（μg/L） | ≤0.5 | ≤2 | ≤5 | ≤500 | |
鐵/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
鉛/（μg/L） | ≤0.1 | - | - | - | |
氟/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
氯/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤10 | ≤1000 | |
亞硝酸根/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
溴/（μg/L） | ≤1 | - | - | - | |
硝酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
磷酸根/（μg/L） | ≤1 | ≤1 | ≤5 | ≤500 | |
6 試驗方法
6.1 電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。
6.2 全硅含量（以二氧化硅計）
電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。
6.3 微粒數
電子級水中微粒數按GB/T 11446.9-2013進行測定。
6.4 細菌總數
電子級水中細菌總數按GB/T 11446.10-2013進行測定。
6.5 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。
6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。
6.7 總有機碳含量
電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。
7 檢驗規則
7.1檢驗部門
電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。
7.2 檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。
7.3交收檢驗
7.3.1 抽驗項目
電子級水中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計）為交收檢驗項目。
7.3.2 合格判據
在用水終端采樣，檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時，應再次采樣經行檢驗，如仍不合格，則該批不合格，應提出改進措施直到水質合格。
7.4 例行檢驗（全檢項目）
7.4.1 檢驗項目
檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序實驗結果的原則進行檢驗。
7.4.2 不合格判定
在用水終端采樣后進行例行檢驗，檢驗結果如有不合格項時，應再次采樣進行檢驗，如仍有不合格項時，應提出改進措施直到水質合格。
7.4.3 檢驗頻次
例行檢驗至少每年進行一次，當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。
8 采樣、貯存、運輸及標志
8.1采樣、貯存、運輸
電子級水的采樣、貯存、運輸應符合GB/T 11446.3-2013的規定。
8.2 標志
在用水終端采樣進行檢驗時，水質合格后應附有檢驗合格證，合格證應包含如下內容：
1. 名稱及級別；
2. 各項技術指標；
3. 制水單位；
4. 供水日期；
5. 檢驗員簽章及檢驗日期。
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