采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結構進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現。
| 共焦顯微鏡頭 標準規格配置50x/0.8物鏡 帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器 | |
| 光源 | LED |
| 壽命 h | > 50,000 |
| 采用步進電機時的測量范圍mm | 50 |
| 采用壓電執行器件時的測量范圍µm | 100/150 |
| zui高垂直分辨率 nm | 5 |
| zui高橫向分辨率µm | 1 |
| 工作距離mm | 0.66 |
| 視場µm | 370 x 280 |
| 256個高度臺階的測量時間s | 約 30 |
| 重量kg | 約12 |
| 測量工作臺 | |
| X、Y、Z每軸位移mm | 50 |
| zui小步距µm | 1 |
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