“狹縫涂布精密成膜裝備系統”是一個*制造業項目,其成膜技術可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜,在許多光電領域,如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽能電池、半導體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等,納米材料狹縫涂布儀都有著非常廣泛的應用。
創新點
納米材料狹縫涂布儀為小型研究納米材料的狹縫涂布提供了高效高精度的試驗機臺。是目前機臺尺寸小的。
上市時間:2018年1月
產品介紹
“狹縫涂布精密成膜裝備系統”是一個*制造業項目,其成膜技術可在玻璃、塑料、不銹鋼等基體上精確涂布制備功能納米、微米薄膜,在許多光電領域,如平板顯示、觸摸屏、薄膜太陽能電池、半導體元器件及封裝、柔性及印制電子、智能玻璃等,有著非常廣泛的應用。
從研發用150mm平臺到6代線,為用戶提供靈活多變的配置方案。不僅用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等,還可以用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等成卷基材的涂布,也應用于非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布。
狹縫涂布技術適用于各種涂布液,可廣泛應用于不同基材表面的涂布,如玻璃,不銹鋼和塑料基片涂布模具相對于基片精確地運動,并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。
納米材料狹縫涂布儀的優勢
可涂布不同粘度的各種材料
涂布厚度范圍廣泛:從20nm到150μm以上
很好的涂布*性:通常優于±3%
效率高/材料利用率高:材料利用率可達95%
能夠滿足不同需求:從研發到小批量試制、大量生產
工藝具有高的可靠性和魯棒性:良率可達到95%
適用于S2S和R2R加工模式
在一個工藝周期內可實現矩形陣列的涂布加工
過程參數
涂布間隙控制:高精準,動態控制涂布頭高度 (z軸)
模具運動控制: 在涂布方向上(x軸)精確控制模具的運動軌跡(包括加速和減速參數)
模具設計: 針對高*性、化學兼容性、低充填容量 和 條狀涂布進行模具設計制造
涂布控制: 涂布速率(穩態涂布) 和涂布輪廓 (前后邊緣)的高精度數字化控制
控制軟件: 所有配方參數,數據監控和反饋控制,數據采集分析。
應用領域
平板顯示
LCD, OLED, Flexible, Touch Screen
LCD, OLED, 柔性顯示, 觸摸屏
太陽能光伏
PV including CIGS, CdTe, OPV and C-Si
固態照明
OLED lighting
高附加值玻璃
可調光智能玻璃, 博物館用玻璃
半導體, 微機電系統, 無線射頻識別, 聚合物電池, 和各種有機及打印電子器件
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