nXDS 泵在傳統 XDS 泵的基礎上進行改進，提高了抽取速度，降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能。 英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

nXDS 干式渦旋泵

Edwards nXDS 具備出色的抽排能力、*的真空性能，性能居同類產品。

nXDS 泵在傳統 XDS 泵的基礎上進行改進，提高了抽取速度，降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能。 

nXDS 泵可*進行現場維修。其智能控制功能和長達五年的維修間隔帶來較低的擁有成本，使其成為應用于當今先進技術的小型干泵。

英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

• 工作環境更好，環境影響低： 
  安靜運轉
• 操作簡單： 
  智能且易于使用控制
• 無污染且不需要處理油： 
  采用密封結構，實現了無潤滑劑真空環境
• 低擁有 成本： 
  長維修間隔和低功耗 
• 更快的制程： 
  出色的蒸汽處理能力 

應用

• 一般清潔泵送
• 電子掃描顯微鏡 (SEM)
• 射束線和高能物理
• 前級渦輪泵
• 超高速離心機

 英國愛德華渦旋真空泵干式渦旋泵nXDS6i

主要特性和優勢

• 真空外殼中 不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空， 防止交叉污染
• 無大氣壓到 真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能 以更低溫度運行，使用時間更長
• 簡單的單側 滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的 特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本， 盡可能延長正常運行時間
• 改進了電機和 傳動效率，可降低功耗和運行成本
• 先進的接口 提供了各種傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現 遠程控制/監視

泵系列

下一代*無油的干式渦旋泵，可在各種應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統 XDS 泵的性能，抽取速度更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了端部密封技術，顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優化的泵送性能，nXDS 泵可*進行現場維修。

• nXDS6i
• nXDS10i
• nXDS15i
• nXDS20i
• nXDS-C

特性與優勢

• 真空外殼中不需要使用潤滑劑，*密封可保證*的清潔和干燥真空，防止交叉污染
• 無大氣壓到真空的軸封可使軸承*隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
• 簡單的單側滾軸布置與創新的電機和軸承設計相結合，只需低程度的特殊工具，就能實現輕松的現場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
• 改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
• 先進的接口提供了各種傳統、模擬和數字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現遠程控制/監視

技術數據