序號項目真空擴機組技術(shù)參數(shù)機組所配各泵技術(shù)參數(shù)
主泵前級泵
01設(shè)備名稱高真空機組油擴散泵旋片真空泵
02 型號JKT200KT-2002X-15
03極限壓力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加熱功率1.6-2Kw1.5Kw
06 機組抽速600 L/S2000 L/S（裸泵抽速）15 L/S

序號

項目

高真空機組技術(shù)參數(shù)

真空擴散泵

機組所配各泵技術(shù)參數(shù)

主泵

前級泵

01

設(shè)備名稱

高真空機組

油擴散泵

旋片真空泵

02

型號

JKT200

KT-200

2X-15

03

極限壓力

6.7×10-4 Pa

6.7×10-4 Pa

1 Pa

05

功率

4 Kw

加熱功率1.6-2Kw

1.5Kw

06       

機組抽速

600 L/S

2000 L/S（裸泵抽速）

15 L/S

07

啟動真空

10 Pa

常壓

08

預(yù)熱時間

≤35min

09

高真空機組配置

名稱

型號

數(shù)量

備注

油擴散泵

KT200

1臺

旋片真空泵

2X-15

1臺

冷阱

SD-200

1個

氣動擋板閥

GDQ-S200

1個

高閥

氣動擋板閥

GDQ-J50

1個

預(yù)抽閥

氣動擋板閥

GDQ-J50

1個

前級閥電磁壓差閥

DYC-Q50

1個連接管路、波紋管

1套

復(fù)合真空計

ZDF-5227

1臺

電控柜

1臺