日本asahi-spectra朝日分光光學(xué)式膜厚計
這是一臺光譜膜厚監(jiān)測儀，用于監(jiān)測在用單色光進行氣相沉積過程中基板上的光量變化。它也用在我們自己的氣相沉積設(shè)備中，并作為膜厚監(jiān)測設(shè)備完成，該設(shè)備具有氣相沉積零件制造商的專有技術(shù)。

日本asahi-spectra朝日分光光學(xué)式膜厚計

概述

全波長范圍

在傳統(tǒng)型號中，波長選擇是濾光片類型，但是新產(chǎn)品結(jié)合了我們久經(jīng)考驗的光譜儀，現(xiàn)在可以選擇任何波長。
膜厚變化的信號是從電壓輸出到與個人計算機兼容的數(shù)字輸出，控制機制是從手動操作到個人計算機的命令控制。此外，通過將薄膜厚度計主體通過I / F直接連接到個人計算機來控制其厚度成為可能，這是一個非常緊湊的系統(tǒng)，無需像其他制造商那樣的控制器。

特征

• 分光鏡設(shè)計緊湊
• 通過提高抗噪聲性（靜電放電測試耐受電壓±5 kV）實現(xiàn)高度可靠的膜厚度監(jiān)控
• 可以通過PC的命令自動控制
• 通過將控制器合并到接收器主體中來實現(xiàn)高性價比

車身配置和接線

產(chǎn)品概要

它連接到氣相沉積設(shè)備上，以監(jiān)控薄膜厚度。可以如右圖所示進行安裝。

反射型監(jiān)視

透射式監(jiān)控
（彎曲探照燈）

透射式監(jiān)控
（直接連接到泛光燈）

商品構(gòu)成

接收者

泛光燈

電源箱

高架法蘭
*包含在反光鏡盒中

反光鏡盒

透射鏡盒

■產(chǎn)品規(guī)格

*請注意，產(chǎn)品規(guī)格和外觀如有更改，恕不另行通知。

日本asahi-spectra朝日分光光學(xué)式膜厚計