VS系列真空檢漏儀能為不同的應用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。
安捷倫真空氦質譜檢漏儀應用于工業真空爐、鍍膜系統、電子束焊接設備；電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜；高能物理同步加速器、束線、同步輻射光源；電子掃描顯微鏡、半導體加工、薄膜制備、質譜分析、真空電子管、激光加工等領域。
| 性能指標 | PR02/PD03 | MR15和MD30 |
| 性能 | 前級泵內置式 | 前級泵外置式及小車 |
| 前級泵油式機械泵 | DS-42， 2 m3/hr （34 l/m） | DS-302， 14 m3/hr （232 l/m） |
| 渦卷式干泵 | 干泵-2 m3/hr （34 l/m） | TS-620 30 m3/hr （500 l/m） |
| zui小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下 | 5×10-12 atm cc/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13Pa m3/sec ，氦氣 | |
| 測試口zui高耐壓 | 13 mbar，10 Torr，1330 Pa | |
| 測試口處對氦氣抽速 | 1.8 l/s | |
| 校準 | 自動或手動（內置或外置） | |
| 氦本底清零 | 按鍵清零，并具有零點追蹤功能 | |
| 操作界面 | 高清晰彩顯，TFT觸摸屏 | |
| 語言選擇 | 中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語 | |
| 循環檢測 | 可編程粗抽時間/測試時間，設置報廢點 | |
| 響應時間 | ＜0.5秒 | |
| 設定點 | 標準；5個設定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強點；1個聲訊點 | |
| 通訊協議 | RS-232 通訊接口，9600波特率（9芯串口） | |
| 執行標準 | UL，CE，CSA | |
| 無限遠程控制（選件） | 2.4GHz ISM, 100m（328ft）, 4AA電池/5VDC電源 | |
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