SFJ-新231型氦質譜檢漏儀
● 操作簡單,通常只需兩鍵 (檢漏和放氣)
● 進口的多口分子泵
● 雙燈絲自動切換
● 自動調零
● 自動校準
● 自動量程切換
SFJ-261型氦質譜檢漏儀將廣泛的應用于半導體工藝設備的維護、工業氣體系統的檢測與安裝、元器件在組裝前的漏率測試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件下的應用場合。
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