自動化顯微鏡外觀檢查的理想選擇。
高速檢查晶圓/基板缺陷和異物。

由于可以一次檢查兩個表面，因此在透明基板的情況下，可以同時檢查正面和背面以及正面和內部，并且可以分離檢查結果。

 

設備規格

對應板子尺寸

大200毫米x 200毫米

吞吐率

約1分30秒□100 mm（檢測到3μm）

工作安裝

手動真空吸附

設備外形尺寸

寬800毫米x深800毫米x高1,710毫米

分辨率

0.87微米

待檢查的基材

晶圓，玻璃和各種基材。非圖案或相同圖案
（網格，針孔）

審查功能

是的