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LFT系列小型滑軌爐CVD系統設備特點：
迷你真空管式爐爐體小巧，升溫速度極快，它不僅可以抽真空,也可以通氣體保護。其結構使得拆裝爐管方便，操作簡捷，使用者可直接將密封腔體移出爐體，加快降溫過程，透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結狀態。爐管工件橫穿與進口電阻絲的爐膛，溫場均勻，內外溫差可控制在正負3度，滑軌爐設計可是樣品快速升溫或降溫。預熱的裝置可以很好控制固態源的蒸發，可用于二維材料的制備等。
LFT系列小型滑軌爐CVD系統技術參數：
名稱 | 規格 | LFT系列小型滑軌爐CVD系統 CVD1200C 230D50 3ZLV |
開啟式真空管式滑軌爐 | 爐管尺寸 | Φ50×1200mm 更多其他規格石英管可選（Φ25/60mm等） |
主要參數 | 溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發生形變) 工作溫度: ≤1100℃ 推薦升溫速率:≤20℃/min 加熱區長度:230mm 額定功率：2KW 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz | |
爐體結構 | 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，最大限度節約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 | |
溫控系統 | 模糊PID控制和自整定調節功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數據進行實時采集（需另購） | |
溫控儀表（可選） | 標配儀表品牌為宇電，可選擇其他品牌溫控儀表，如島電等。 | |
管堵 | 多種規格管堵，防止來自內部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須*放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環境或者較高真空需求 | |
密封系統 | 爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭） 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數顯真空計（需另外訂購） 備注：本公司標配法規格如下進氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣 | |
擴展端口 | 如進氣管道為橡膠軟管，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 | |
真空度 | 雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 | |
外形尺寸 | 650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) | |
凈重 | 40Kg | |
2路質量流量控制系統 MFC-2Z | 電壓 | 220VAC 單相 50/60Hz |
針閥材質 | 316不銹鋼 | |
量程 | 100sccm、200sccm（可根據工藝要求提供多種量程選擇） | |
工作溫度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 750(H) mm | |
電壓 | AC220V/50Hz單相 | |
功率 | 23W | |
真空系統 LVU-10 | 殼體尺寸 | 600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
最大承載量 | 1000 Lbs | |
抽氣速率 | 10m³/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質）與真空泵連接 | |
質保期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 | |
相關應用 | 爐膛內襯可以單獨更換（額外付費） 可以根據要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 | |
應用注意事項 | 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） | |
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