OPTELICS HYBRID+ 簡介：

日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦顯微鏡,將激光和白光源組合在一體,用于多功能高性能共聚顯微鏡.兩組共焦光學器件與附加器件相結合,包括干涉儀,微分干涉對比觀察和光譜反射膜厚度測量儀。

             集6項功能于一體

應用：各種材料的觀察和形狀測量可以進行毫米級到納米級的非接觸、

非破壞性形狀測量和觀察。它可以處理廣泛的工業領域中的各種樣品。

工業領域：

半導體材料（Si、Sic、抗蝕劑）、器件、電子元件

MEMS、微制造零件、涂層材料

薄膜、有機/無機材料、光學元件、薄膜

生物領域：

微流道

導管、劃痕等異物

可用于從研發領域接近量產的領域。

功能介紹：

 白光共聚焦功能

                                                寬視野觀察提高效率

                              采用白光光源可以獲取高清全彩圖像，有助于觀察。

激光共聚焦功

高倍率和高分辨觀察

配備波長405nm的半導體激光器、無需預處理即可清晰采集納米級超精細結構，分辨率堪比電子顯微鏡。

                                                               鈮酸鋰 倍率：11000倍    半導體部件 倍率：3700倍

                                                      
微分干涉功能

納米級凹凸觀察

    共聚焦和微分干涉對比（DIC）的組合提供了樣品細微缺陷的清晰化觀察，可不受背面影響的情況下觀察透明樣品的正面

                                     共聚焦觀察       共聚焦微分干涉觀察

垂直掃描白光干涉功能

毫米視野下的納米級臺階高度測量

    高度分布數據是通過獲取白光和雙光干涉物鏡在光軸方向掃描時產生的干涉條紋強度峰值處的z-scale值來計算的。該方法適用于寬視場測量，因為理論上在任何放大倍數的物鏡下都具有相同的高度測量分辨率。

               1.5mm視野下44nm的測量                            數um高度下10nm-100nm高度測量

相移干涉測量功能

埃米級臺階高度測量

    由于單波長光和兩光束干涉物鏡產生的干涉條紋是基于樣品表面的光程差分布，因此通過相位信息分析使用四個
相對于光軸不同位置的干涉條紋圖像來計算高度分布數據。

反射光膜厚測量功能

納米級透明膜厚測量

使用波長選擇功能測量6個波長反射率，使用光學模型擬合計算膜厚。可以測量幾納米到1微米的單層/多層膜厚。由于測量區域是根據共焦觀察圖像定的，因此可以計算亞微米微小區域到幾毫米整個視場的平均膜厚。此外，由于可以測量每個像素的膜厚，因此可以測量膜厚分布。

規格參數：