德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品簡介：

EddyCus TF直列串聯措施層性能，如金屬層的厚度，片電阻，發射率，殘留水分或克在各種基材上的非接觸。

相關基材是玻璃、箔、紙、晶片、塑料或陶瓷。

監測是通過測量或觸發事件來完成的，以便在快速移動的涂層過程中獲得等距的結果。

監測解決方案可以在大氣或真空條件下實施。使用渦流技術的過程受益于高采樣率。

可以使用客戶的軟件為過程控制系統提供測量結果。

此外 SURAGUS 還提供監控軟件 EddyCus EC Control，可對計量數據進行可視化、存儲和分析。

德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀傳感器類型：

. EddyCus TF inline SR – 薄層電阻監測(包括發射率)

. EddyCus TF inline MT – 金屬厚度監測

. EddyCus TF inline RM – 電阻率和電導率監測

. EddyCus TF inline HF – 殘留水分監測

. EddyCus TF inline A – 薄層電阻和電各向異性監測；

德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品特點：

. 非接觸式實時測量

. 測量速度高達 1,000 次測量/秒。

. 固定式傳感器安裝或橫向傳感器安裝

. 每個系統集成 1 – 99 個監控通道

. 在大氣或真空中進行過程控制

. 在許多應用中可以非常靠近基板邊緣進行測量

. 在不斷變化的環境中通過溫度補償測量實現長期穩定性

. 到測試材料的大距離(例如 60 毫米/2.4 英寸的間隙)

. 覆蓋導電層或封裝基板的表征

. 眾多軟件集成分析統計功能

. 通過 EddyCus RampUp 軟件輕松設置，包括。系統校準向導

. 無磨損

德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀產品應用：

. 建筑玻璃(LowE)

. 包裝材料

. 顯示器和觸摸屏

. 光伏(薄膜和 c-Si)

. 鏡面鍍膜

. 電容器

. OLED 和 LED

. 智能玻璃

. 金屬層和晶圓金屬化

. 除冰和加熱

. 電池和燃料電池

. 涂布紙和導電紡織品

. 石墨烯層

. 抗菌涂料;

德國SURAGUS EddyCus® TF inline系列薄層電阻測量儀技術參數：

. 測量范圍

薄層電阻：0.1 mOhm/sq 到 1 kOhm/sq

金屬厚度：2 nm – 2 mm(取決于材料導電性)

電阻率：0.1 mOhm cm – 5 ohm cm

殘留水分(通過非接觸式介電常數測量在濕層中測量)

電各向異性：0.33 至 3(可根據要求提高)

相關屬性

克重：0.1 至 1,000 克/平方米

發射率：0.005 至 0.2

. 設置

內聯 R2R

內聯 S2S

集群工具

集成到處理區域

透射和反射設置

流程

沉積(PVD、ALD、(PE)CVD、電鍍、印刷、噴涂等)

燒蝕/結構化(蝕刻、拋光、激光等)

摻雜/植入

回火/退火

干燥/加熱

傳感器外形尺寸(所有測量類型)

傳感器 S(多種選擇)

傳感器 S - 半真空(限真空)

傳感器 M

傳感器 XS

定制形式(多傳感器)

接口

TCP、UDP

Modbus

CSV、XML

模擬、數字

網

環境

大氣層

真空

ATEX

可應要求提供高溫版本

接線設置

靠近傳感器位置的控制柜安裝

直接安裝工具安裝在傳感器位置附近

全傳感器集成硬件;