產品特征：精度用于粗糙度和輪廓及130mm測量路徑Mahr計量的技術實現一步完成輪廓和粗糙度測量
精度用于粗糙度和輪廓及 130 mm 測量路徑
Mahr 計量的技術實現一步完成輪廓和粗糙度測量。MarSurf LD 130 和 MarSurf LD 260 測量站在代設備經驗的基礎上，又經過系統化的設計。各種應用中的測量任務越來越需要同時測量輪廓和粗糙度深度。測量儀器必須有很高的測量性能才能滿足這些要求。亞納米級分辨率和殘余噪聲 <20 nm="" rz="">
優點:
一步完成粗糙度和輪廓測量高測量和定位速度可大幅減少測量時間
創新的測頭系統解決方案，快速可靠的測桿更換，磁性支架同步檢測測桿
長測量長度，高達 130 mm，測量行程 13 mm（100 mm 測桿長度）或 26 mm（200 mm 測桿長度）。模塊結構，方便維護
訂貨號 | 6720821 |
定位速度 | 0.02 - 200 mm/s (X) |
掃描長度末尾（X方向） | 130 mm |
測量速度 | 0.02 mm/s 至 10 mm/s； |
粗糙度測量 | 推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
導塊偏差 | 0.35 µm / 60 mm |
分辨率 | 0.8 nm |
測量范圍 mm | 13 mm（100 mm 測桿） |
掃描長度 | 0.1 mm - 130 mm |
測量力 | 0.5 mN 至 30 mN，軟件可調 |
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