Mahr度量的技術實現一步完成輪廓和粗糙度測量
| 測量速度（文本） | 0.02 mm/s 至 10 mm/s； 粗糙度測量 推薦 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s |
|---|---|
| 掃描長度末尾（X 方向） | 130 mm |
| 分辨率 | 0.8 nm |
| 掃描長度開始（X 方向） | 0.1 mm |
| 定位速度（文本） | 0.02 mm/s 至 200 mm/s |
| 測量范圍 mm | 13 mm (100 mm probe arm) |
| 掃描長度（文本） | 0.1 mm - 130 mm 或 260 mm |
| 測量力 (N) | 0.5 mN 至 30 mN，可軟件調整 |
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