詳細信息測量范圍：200mm×100mm分辨率：0.0002mm準確度：（1+L/100）μm（其中L為測量長度

主顯微鏡立柱
傾斜范圍：±12°
傾斜角度分度值：30'
測角目鏡
角度分劃范圍：360°
角度分度值：1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍：±7°
角度分度值：10'
頂針裝置
夾持長度：700mm
夾持直徑：φ100mm
高頂針架
夾持長度：200mm
夾持直徑：φ250mm
圓分度頭
角度分劃范圍：0°~ 360°
角度分度值：1′
光學定位器
測桿垂直方向擺動范圍：±3°
探測孔徑：φ5mm
探測深度：15mm
定位變動性： <1μm
測量力（N）：0.1±0.03
環境要求：室溫20±1℃，相對濕度40％－60％RH
儀器外形尺寸(mm) :長1300×寬1250×高800
儀器質量：450kg