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武漢頤光ME-L 穆勒矩陣橢偏儀

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ME-L穆勒矩陣橢偏儀一、產品介紹:1、超寬的光譜范圍:采用氘燈和鹵素燈復合光源

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ME-L 穆勒矩陣橢偏儀
    一、產品介紹:

    1、超寬的光譜范圍:采用氘燈和鹵素燈復合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍(380-1000nm)支持拓展至200-1650nm

    2、雙旋轉補償器調制:高精度旋轉與觸發同步控制,實現高速光譜數據采集

    3、全穆勒矩陣測量:基于雙旋轉補償器配置,可一次獲取穆勒矩陣的16個元素,相對于傳統光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息

    4、超級消色差補償設計:補償器技術,適應從深紫外到近紅外寬光譜范圍內高精度相位調制要求

    5、豐富的材料數據庫和算法模型:數百種材料數據庫、多種算法模型庫、涵蓋了目前絕大部分的光學材料

    6、向導式交互界面:軟件向導交互式人機界面操作,為用戶提供優質操作體驗

    7、納米光柵分析能力:分析算法模型實現各種納米光柵結構周期、線寬、線高、側壁角、粗糙度等幾何形貌信息提取




    二、技術參數:

    基本功能 一次性獲取穆勒矩陣、Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜
    光譜范圍 380-1000nm(210-1650nm可選)
    測量時間 1-8s
    入射角范圍 45-90°
    光斑尺寸 2-3mm/200um
    重復性精度 0.005nm(100nmSiO2硅片)
    精度
    (空氣介質) 
    橢偏參數:ψ=45±0.05°     Δ=0±0.01°
    穆勒矩陣:對角元素m=1±0.005  非對角元素m=0±0.005
    分析軟件 多達數百種光學材料庫,支持用戶自定義
    多層各向同性/異性光學薄膜、周期性光柵結構建模仿真與分析功能


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