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返回產品中心>高通量的斷面研磨配備斷面研磨能力達到500µm/h*2以上的高效率離子槍
配備斷面研磨能力達到500 µm/h*2以上的高效率離子槍。因此,即使是硬質材料,也可以高效地制備出斷面樣品。
斷面研磨加工原理圖
平面研磨(Flat Milling®)加工原理圖
附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS
該功能可有效防止加工過程中,由于離子束照射引發的樣品的溫度上升,所導致樣品的溶解和變形。對于過度冷卻后會產生開裂的樣品,通過冷卻溫度調節功能可防止其因過度冷卻而產生開裂。
常溫研磨
冷卻研磨
項目 | 內容 | |
---|---|---|
IM4000PLUS | IM4000PLUS | |
斷面研磨桿 | 平面研磨桿 | |
使用氣體 | Ar(氬)氣 | |
加速電壓 | 0 ~ 6 kV | |
研磨速度(Si材料) | 500 µm/hr*1 以上 | - |
樣品尺寸 | 20(W)× 12(D)× 7(H)mm | Φ50 × 25(H) mm |
離子束 間歇照射功能 | 標配 | |
尺寸 | 616(W)× 705(D)× 312(H)mm | |
重量 | 機體48 kg+回轉泵28 kg | |
附冷卻溫度調節功能的IM4000PLUS | ||
冷卻溫度調節功能 | 通過液氮間接冷卻樣品、溫度設定范圍:0°C ~ -100°C | |
選項 | ||
空氣隔離 樣品夾持器 | 僅支持斷面研磨夾持器 | - |
FP版斷面研磨夾持器 | 100 µm/rotate*2 | - |
用于加工監控的顯微鏡 | 倍率 15 × ~ 100 × 雙目型、三目型(支持CCD) |
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