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MX63L

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讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢MX63和MX63L顯微鏡系統特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質量檢測

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讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢

MX63和MX63L顯微鏡系統特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計可讓您根據需要選擇組件,獲得根據應用定制的系統。

這兩款符合人體工學設計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結合使用情況下,可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。


設計滿足電子行業的人體工學和安全性要求,并以更多功能提高分析能力。

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簡潔的顯微鏡設置讓用戶調整和重復系統配置更加輕松。

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我們成熟可靠的光學器件和優良的成像技術可獲得清晰圖像,并完成可靠檢測。

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用戶可利用適合其應用的組件進行系統定制。

模塊化


我們的圖像管理功能可為您呈現您真正想要觀察的內容。

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MX63 MX63L
光學系統 UIS2光學系統(無限遠校正系統) 
顯微鏡鏡架 反射光照明 白光LED (帶有光強度控制器) 12伏100瓦鹵素燈, 100瓦汞燈 明場/暗場/分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 
通過手動操作調整3位編碼分光鏡組件 
內置電動孔徑光闌(針對所有物鏡預設,暗場自動打開) 
觀察模式:明場、暗場、微分干涉相襯(DIC)*1、簡易偏光 *1、熒光 *1、紅外 *1 和MIX觀察(4個定向暗場)*2
*1選配分光鏡組件,*2 需使用MIX觀察配置
透射光照明 透射光照明裝置:需使用MX-TILLA或MX-TILLB。 
-  MX-TILLA:聚光鏡(NA 0.5)和孔徑光闌 
-  MX-TILLB:聚光鏡(NA 0.6),孔徑光闌以及視場光闌 
光源:LG-PS2 (12 V, 100 瓦鹵素燈) 光導: LG-SF     
觀察模式: 明場、簡易偏光
聚焦 行程:32毫米 
每轉行程微調:100微米 
最小分度: 1微米 
用于粗調的上限限位器和扭矩調節
載荷重量(包括載物臺和支架)  8公斤 15公斤
觀察筒 寬視場(FN 22毫米) 正像三目鏡筒:U-ETR4 
正像、可調傾角三目鏡筒: U-TTR-2 
倒像三目鏡筒: U-TR30-2、U-TR30IR (用于紅外觀察) 
倒像雙目鏡筒: U-BI30-2 
倒像可調傾角雙目鏡筒:U-TBI30
超寬視場(FN 26.5毫米)  正像可調傾角三目鏡筒:MX-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 0 : 99%) 
正像可調傾角三目鏡筒: U-SWETTR (光程切換99% (目鏡) : 0 (相機) 或 20% : 80%) 
倒像三目鏡筒: U-SWTR-3
電動物鏡轉換器

明場
帶DIC插槽的電動六孔:U-D6REMC
帶DIC插槽的電動定心五孔:U-P5REMC

明場和暗場
帶DIC插槽的電動六孔:U-D6BDREMC
帶DIC插槽的電動五孔:U-D5BDREMC
帶DIC插槽的電動定心五孔:U-P5BDREMC

載物臺 (X × Y)

帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC8R
行程: 210 x 210毫米
透射光照明區域:189 x 189毫米

帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC6R2
行程: 158 x 158毫米
(僅適用于反射光)

帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC1412R2 
行程: 356 x 305毫米 
透射光照射區域:356 x 284毫米
重量 約35.6公斤 (顯微鏡架26公斤) 約44公斤 (顯微鏡架28.5公斤)


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