通過使用ZERODUR®量程和的CAA校正，蔡司PRISMO verity所提供的結果的不確定性可低至0.7 + L /400μm。蔡司PRISMO verity可用于溫度控制的測量室，它符合德國VDI / VDE 2627“3級”標準。空調室的溫度保持在19°至22°C之間，適合所有測量任務。憑借改進的表格測量值，蔡司PRISMO verity是同類產品中的優質機器。

蔡司PRISMO ultra測量誤差僅為0.5 + L / 500微米，它進一步提高了蔡司PRISMO的精度。通過更為精準的量程，優化的氣浮軸承設計，額外的CAA校正，氣浮減振技術和所有組件更為嚴格的適配獲得優異的測量精度。蔡司PRISMO ultra適用于需要實現高度精度的任務，例如研究、開發、質量保證以及儀表或測試樣品的校準。