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BX53M-IR 近紅外線顯微鏡

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BX51/BX51M-IR 系統IR顯微鏡

能觀察IC內部的近紅外線(IR)觀察專用型號(反射/反射)

● 近紅外外透射反射觀察用顯微鏡
● 5X到10X紅外鏡頭,像差校正本涵蓋從可見光到近紅外整個波段
● 晶圓,化合物半導體的內部,封裝芯片內部以及CSP bump觀察適宜

主要特點:
1.UIS無限遠校正光學系統,提供出色的圖像質量
2.人機工程學的進一步改善,使操作更為舒適
3.多種高度功能化的附件,能滿足各種檢驗需要

 

 

物鏡

倍率

數值孔徑

工作距離(mm)

硅片厚度

分辨率(um)

LMPLN-IR

5X

0.1

23

--

6.71

10X

0.3

18

--

2.24

LCPLN-IR

20X

0.45

8.3

0-1.2

1.49

50X

0.65

4.5

0-1.2

1.03

100X

0.85

1.2

0-1

0.79

 


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