AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。特點1. 自動化功能高度集成自動化功能追求高效率檢測降低檢測中的人為操作誤差 4英寸自動馬達臺自動更換懸臂功能2....
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換，激光對中，測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。
特點
1. 自動化功能
4英寸自動馬達臺
自動更換懸臂功能
2. 可靠性
排除機械原因造成的誤差
大范圍水平掃描
采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了研發的水平掃描器，可實現不受圓弧運動影響的準確測試。
樣品 ：硅片上的非晶硅薄膜
高精角度測量
普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。
樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結構)
3. 融合性
親密融合其他檢測分析方式
通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌，結構，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）
上圖是AFM5500M拍攝的形貌像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數據。
與其他顯微鏡以及分析儀器聯用正在不斷開發中。
| 馬達臺 | 自動精密馬達臺 觀察范圍：100 mm （4英寸）全域 馬達臺移動范圍：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 直徑：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 樣品重量：2 kg |
| 掃描范圍 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：閉環控制 / Z：感應器監控） |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 復位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、計量10 μm的標準間距) / Z: ≤1 nm (3σ、計量100 nm 的標準深度) |
| XY直角度 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 檢測方式 | 激光檢測（低干涉光學系統） |
| 光學顯微鏡 | 放大倍率：x1 ～ x7 視野范圍：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 顯示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸顯示器） |
| 減震臺 | 臺式主動減震臺 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、約28 kg |
| 防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 約 237 kg |
| 大小?重量 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、約 90 kg |
* 參數與設備配置及放置環境相關。
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 自動調節懸臂振幅、接觸力、掃描速率以及信號反饋 |
| 操作畫面 | 操作導航功能、多窗口顯示功能（測試/分析）、3D圖像疊加功能、掃描范圍/測量履歷顯示功能、數據批處理分析功能、探針評估功能 |
| X, Y, Z掃描驅動電壓 | 0～150 V |
| 時時測試（像素點） | 4畫面（2,048 x 2,048） 2畫面（4,096 x 4,096） |
| 長方形掃描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 分析軟件 | 3D顯示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
| 自動控制功能 | 自動更換懸臂、自動激光對中 |
| 大小?重量 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、約 34 kg |
| 電源 | AC100 ～ 240 V ±10% 交流 |
| 測試模式 | 標配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 選配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。
* RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。
| 可適用的日立SEM型號 | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
|---|---|
| 樣品臺大小 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| 樣品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 對中精度 | ±10 µm （AFM對中精度） |
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