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全自動真空立式烤箱

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

該廠商其他產(chǎn)品

我也要出現(xiàn)在這里

產(chǎn)品用途:真空面向是晶圓和封裝段應(yīng)用于低溫烘烤,烘干,除水。

詳細信息 在線詢價

技術(shù)參數(shù):


TASZ3050D203-N

TASZ3050D403-N

產(chǎn)品特點

 可搭載OHT實現(xiàn)無人化操作,節(jié)省空間,真空下低溫烘烤縮短工藝時間,產(chǎn)品保護產(chǎn)品性能提升。

氧氣含

50PPM

工藝溫度

室溫+30-300℃

產(chǎn)品規(guī)格

8/12inch 晶圓

存放數(shù)量

50PCS/管

加熱器

熱電阻加熱

上料口

2個

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 200℃,溫度:300℃

升溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱功率

22KW

加熱溫區(qū)

3個

爐溫均勻性

±3℃

控溫?zé)崤?/span>

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐腔材料

SUS316L

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調(diào)節(jié)進氣

氣氛

N2

真空度

≤10pa

潔凈度

Class 100

翹曲度

12寸翹曲度≤2mm;

8寸翹曲度≤1mm


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