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NEXIV VMR-K3040ZC

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CNC視頻圖象坐標測量儀NEXIVVMR-K3040ZC這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標測量儀,它能夠在同一視場內,同時完成二維平面和一維高度的高精度測量

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CNC視頻圖象坐標測量儀
NEXIV VMR-K3040ZC

這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標測量儀,它能夠在同一視場內,同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測的IC封裝的立體形狀。

1、2、3 型
利用共聚焦光路,實現大視場、高速、高精度的微觀高度測量;
在同一視場內,能夠同時完成二維平面和一維高度的高精度測量;
同時擁有普通機型的15倍高速CNC變焦光學系統,可以進行明暗場圖象的二維幾何測量;
8方向程控LED 環形照明系統、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標準配置;
通過對硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的,可以按圖定位測量其中的任意一個芯片;
具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能。
應用領域:
硅片級芯片封裝(二維+高度)、MEMS、Probe Card等。
明場
共聚焦
合成效果



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