認(rèn)識(shí)Sensofar
西班牙SENSOFAR公司專業(yè)從事研發(fā)、設(shè)計(jì)和制造光學(xué)表面量測(cè)設(shè)備。從1999年成立至今裝機(jī)超過900臺(tái)。SENSOFAR開創(chuàng)性地將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合在一起，設(shè)計(jì)和制造了NEOX系列的3D光學(xué)輪廓儀，它是獲得歐洲設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)的產(chǎn)品。
其中款的SNEOX具有以下幾點(diǎn)突出優(yōu)勢(shì)：
一、 無二的設(shè)計(jì)，將共聚焦和干涉技術(shù)結(jié)合
SNEOX無需插拔任何硬件就可以在軟件內(nèi)自動(dòng)實(shí)現(xiàn)共聚焦、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀。客戶即擁有共聚焦技術(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級(jí)Z軸分辨率可達(dá)0.1nm及高達(dá)0.1%的測(cè)量重復(fù)性。
二、 采用四色LED做照明光源，系統(tǒng)無耗材
SNEOX采用紅、綠、藍(lán)、白四色LED做照明光源。超長(zhǎng)使用壽命和穩(wěn)定波段的LED保證了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行，也降低了用戶的使用成本。
傳統(tǒng)共聚焦激光光源只有3000小時(shí)壽命，更換光源需要返廠校準(zhǔn)。
三、 的Microdisplay 技術(shù)做到了掃描頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件
SENSOFAR設(shè)計(jì)的Microdisplay技術(shù)解決了共聚焦掃描一直以來的問題即有部件要高速運(yùn)動(dòng)。實(shí)現(xiàn)了既能高速掃描又能避免部件運(yùn)動(dòng)造成震動(dòng)影響精度。
傳統(tǒng)共聚焦掃描頭有一組晶振在振動(dòng)，需要定期校準(zhǔn)。
四、 采用3CCD模式，拍攝真實(shí)清晰地圖片
SNEOX使用2442x2048的CCD，使用3CCD模式拍攝彩色圖片即每張彩色圖片都是用紅、綠、藍(lán)三色光源分別照明后獲取圖像，保證每個(gè)像素點(diǎn)都能用RGB三原色去還原圖像，紅綠藍(lán)三色LED交替照明的方式能幫助獲得最真實(shí)和高對(duì)比度的圖像。較短的光波長(zhǎng)可以在測(cè)量時(shí)獲得水平分辨率，較長(zhǎng)的光有更好的光學(xué)相干性，適合干涉掃描的使用。
五、 智能編程，自動(dòng)走位測(cè)量
軟件的標(biāo)配智能編程功能，用戶可以很簡(jiǎn)單的實(shí)現(xiàn)定位精確測(cè)量或大批重復(fù)測(cè)量。軟件還可設(shè)置使用權(quán)限。
六、 新增AI FOCUS VIRATION功能實(shí)現(xiàn)超快速三維重建
針對(duì)部分用戶需要高速測(cè)量，且測(cè)量精度只需要亞微米級(jí)的需求，SNEOX加入了FOCUS VIRATION功能，Z軸測(cè)量精度小于70nm，只需不到3秒就能完成視場(chǎng)內(nèi)的三維形貌掃描。
七、 自動(dòng)形貌拼接、圖像預(yù)覽導(dǎo)航等豐富功能幫助客戶一臺(tái)設(shè)備完成多種應(yīng)用需求。
八、 膜厚測(cè)量，薄膜測(cè)量滿足50nm-1.5u測(cè)量需求，厚膜測(cè)量滿足1.5-5mm測(cè)量需求（單層膜）。多層膜測(cè)量需選配光譜反射計(jì)。
九、 定制軟件
SensoPro作為一款定制軟件，針對(duì)工廠設(shè)計(jì)，既可以避免人為測(cè)量誤差，又可以批量高速測(cè)量。
使用SensoPro軟件可以在預(yù)先設(shè)置好要測(cè)量和輸出的數(shù)據(jù)的前提下，可以在掃描好樣品表面形貌的同時(shí)，測(cè)量出全部待測(cè)樣品的數(shù)據(jù)。不但可以排除人為測(cè)量誤差，還具備人為測(cè)量不具備的高效率。
二、設(shè)備主要用途
Sensofar 表面輪廓儀S Neox可以通過白光干涉、相位差干涉、共聚焦、多焦面疊加四種技術(shù)對(duì)表面進(jìn)行3D合成，適用于幾乎所有粗糙度表面樣品的三維量測(cè)。
廣泛應(yīng)用于能源、LCD、微電子、精密加工、光學(xué)器件、半導(dǎo)體元件、鐘表、考古、汽車、電子消費(fèi)品等領(lǐng)域。
三、技術(shù)指標(biāo)
設(shè)備名稱：表面3D輪廓儀
規(guī)格型號(hào):S Neox
一、硬件部分
1.1 光源及壽命
長(zhǎng)壽命高亮度4色LED（紅 630nm，綠 560nm,藍(lán) 460nm，白550nm) 50000小時(shí)以上
1.2 相機(jī)及成像
5Mpx：2442x2048 60fps高速相機(jī)；用紅綠藍(lán)三色順序照明獲得真彩照片，圖像色彩及還原性更好
1.3 XY分辨率
0.14µm
1.4 顯微鏡共焦裝置
MicroDisplay設(shè)計(jì)，測(cè)量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件
1.5 掃描模式
干涉物鏡：白光干涉（CSI）、相位差干涉（PSI）擴(kuò)展相位差干涉（ePSI）、膜厚測(cè)量模式
共聚焦物鏡：共聚焦、連續(xù)共聚焦、共聚焦融合、AI多焦面疊加、膜厚測(cè)量模式
膜厚測(cè)量模式：可以測(cè)量大于50nm透明膜厚度
1.6 物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡
1.6.1 電動(dòng)六孔物鏡轉(zhuǎn)換器
1.6.2 物鏡參數(shù)
鏡頭種類 | 倍率 | 數(shù)值孔徑（N.A） | 視窗大小（µm） | 工作距離（mm） | 橫向分辨率（µm） | Z向分辨率（nm） | 支持斜率 |
干涉物鏡 | 2.5X | 0.075 | 6750x5640 | 10.3 | 1.87 | 0.01 | 4 |
| 5X | 0.13 | 3380x2820 | 9.3 | 1.08 | 0.01 | 8 |
| 10X | 0.30 | 1690x1410 | 7.4 | 0.46 | 0.01 | 17 |
共聚焦物鏡 | 20X | 0.45 | 840x700 | 4.5 | 0.31 | 8 | 21 |
| 50X | 0.8 | 340x280 | 1.0 | 0.17 | 3 | 53 |
1.7 視野范圍
110-3380µm
1.8 樣品側(cè)面觀察能力
86度
1.9 電動(dòng)載物臺(tái)
可傾斜，行程不小于114X75mm，
1.10 內(nèi)置專業(yè)避震裝置
有
1.11 支持樣品高度
40mm（可擴(kuò)展）
1.12 放大倍數(shù)
100-20000
1.13 Z軸精度及線性度
可選壓電陶瓷高精度Z軸掃描模塊，行程200µm
1.14防震機(jī)制
大臺(tái)面高級(jí)防震桌
二、軟件部分
2.1粗糙度測(cè)量部分
2.1.1 同時(shí)具備線粗糙度和面粗糙度測(cè)量的能力
2.1.2 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)
ISO25178 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
2.2 觀察輔助
明場(chǎng)，暗場(chǎng)，彩色共聚焦、共聚焦狹縫
2.3 拼圖功能
有，拼接范圍為電動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)行程
2.4 具備免費(fèi)離線軟件與共享功能
2.5 自動(dòng)操作記憶功能
可存儲(chǔ)測(cè)量參數(shù)，自動(dòng)編程實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)測(cè)量。如選配批量分析軟件，可自動(dòng)分析結(jié)果給出報(bào)告
2.6 工作站
新型工作站配置WINDOWS10 64位專業(yè)版操作系統(tǒng)，27” 3840 x 2160分辨顯示器
2.7 操作軟件支持的語言
中文、英文
2.8 窗口設(shè)計(jì)
按鍵式，可保存及調(diào)用參數(shù)
2.9 支持的掃描模式
白光干涉、相位差干涉、共聚焦、主動(dòng)照明式多焦面疊加、膜厚模式等
三、測(cè)量性能與追溯性
3.1 XY分辨力
分辨能力不低于0.14微米
3.2 測(cè)量顯示分辨率
0.001nm
3.3 Z軸測(cè)量分辨率
共聚焦1nm CSI模式下1nm PSI 模式下可達(dá)0.01nm
3.4 Z軸測(cè)量準(zhǔn)確度
臺(tái)階高度精度0.5%
3.5 Z軸測(cè)量重復(fù)性
臺(tái)階高度重復(fù)性0.1%
