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:(薄膜測(cè)量?jī)x器測(cè)試功能說(shuō)明)可測(cè)量:
Index of Refraction折射指數(shù)(at 2μm thickness)
Thickness Measurement Range 厚度測(cè)量范圍
Maximum Spectral Range zui大光譜范圍
Standard Spectral Range標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍
Reflection反射測(cè)量
Transmission透射測(cè)量
Optional Spectroscopic Ellipsometry可選擇的光譜橢圓偏光法測(cè)量
Power Spectral Density功率譜密度測(cè)量
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度測(cè)量
Both TE & TM Components of Index
Multi-layer thickness多層厚度測(cè)量
Index of Refraction折射系數(shù)測(cè)量
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系數(shù)
Energy band gap能量帶隙測(cè)量
Composition成分測(cè)量
Crystallinity晶狀測(cè)量
Inhomogeneous Layers非均勻?qū)訙y(cè)量
Surface Roughness表面粗糙度測(cè)量
A variety of options can extend these standard measurement capabilities.

Typical applications典型應(yīng)用:
Flat panel display平板顯示器薄膜\OLED有機(jī)發(fā)光二級(jí)管薄膜
Semiconductor and dielectric materials半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料薄膜\Computer disks計(jì)算機(jī)磁盤(pán)薄膜
Multilayer optical coatings多層光學(xué)涂層薄膜\Coated glass有涂層的玻璃薄膜
Optical antireflection coatings光學(xué)抗反射涂層薄膜\aser mirrors激光鏡薄膜
Electro-optical materials電鍍光學(xué)材料薄膜\hin Metals薄金屬薄膜

Example Films薄膜范例:
SiOx氧化硅薄膜\a-Si非晶硅薄膜\Alq3
SiNx氮化硅薄膜\a-C:H氧化類(lèi)金剛石薄膜\HIL
DLC類(lèi)金剛石薄膜\ITO錫銦氧化物薄膜\BEML
SOG 玻璃上系統(tǒng)薄膜\Polysilicon多晶硅薄膜\GEML
Photoresist光刻膠薄膜\Polyimide聚酰亞胺薄膜\ETL
Thin Metals薄金屬薄膜\Color Dye彩色染料薄膜\REML

Example Substrates襯底范例:
Silicon 硅襯底 GaAs砷化鎵襯底
SOI襯底 Glass玻璃襯底
SOS襯底 Aluminum鋁襯底


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