HybridHexapod®由ALIO Industries研發，旨在解決常規六軸位移臺固有的性能限制問題。ALIO獲得的混聯六自由度精密位移系統（6-DOF）完美的結合了串聯和并聯運動結構的優點，又在同時回避了它們的缺點。混聯六自由度精密位移系統提供了比任何傳統六軸位移臺或堆疊平臺更多的功能、納米級精度、可重復性和的六軸運動軌跡。*的設計包括平行的運動三腳架，它可以控制Z平面的位移和傾斜運動。該三腳架與用于XY平面運動的整體式串聯運動平臺集成在一起。集成在三腳架頂部（或下方，取決于應用需求）的轉臺提供360度連續偏航（θ-Z）旋轉。混聯位移系統可以單獨定制每一個軸，提供了從毫米到近乎沒有限制范圍的XY行程，并在同時保持納米級的精度。新型正向和反向控制器運動學讓用戶可以無限數量的編程“工具中心點”位置。HH-30D的±30度傾斜行程是六自由度定位系統可提供的大角度行程范圍，同時也具備ALIO的全系Hybrid Hexapod產品相同的高精度定位性能。

特點

高精度交叉滾柱導軌

直接讀取增量或使用編碼器控制所有承軸

線性壓電電機和/或滾珠絲桿驅動器

無限制編輯工具中心點位置和坐標位移

所有承軸零間隙

主要參數

XY軸行程60mm和100mm，大450mm（無限制XY行程）

Z軸行程62mm（其他同類產品大208mm）

Tip/Tilt 行程 ±30 Deg, 連續可調 360 Deg Theta-Z

XYZ 雙向重復性小于 ±100nm

角度雙向重復性小于 ±0.6 arc-sec

XY軸位移速度高達100mm/s，Z軸位移速度高達20mm/s Z (大于線性電機版)

線性不穩定性小于20nm，角不穩定性小于0.1 arc-sec

應用

非球面和自由光光學檢測

封裝與探測硅光子

激光微加工（非平面基板和錐度控制）

晶圓測量

相機模塊的對準與裝配

傳感器/圖像穩定性測試

光學元件的光纖耦合