| 線性行程 (X, Y, Z) | ±27.5 mm, ±25 mm, ±14mm |
| 角度行程 (Θx, Θy, Θz) | ±11.5°, ±10.5°, ±19° |
| 小增量運動 (X, Y, Z) | 0.1 µm, 0.1 µm, 0.05 µm |
| 小增量運動 (Θx, Θy, Θz) | 0.00005° (0.8 µrad), 0.00005°, 0.0001° |
| 重復性 (X, Y, Z) | 0.2 µm, 0.2 µm, 0.1 µm |
| 重復性 (θx, θy, θz) | 0.0001°, 0.0001°, 0.0002° |
| 大速度 (X, Y, Z) | 12 mm/s, 10 mm/s, 5 mm/s |
| 大速度 (Θx, Θy, Θz) | 8 °/s, 8 °/s, 16°/s |
| 負載 | 6 kg |
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