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VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)是一種滿足半導(dǎo)體TSV、MEMS、WLP等工藝制程中異形表面的噴膠作業(yè)設(shè)備。是一種采用高精度微量液體平流傳輸和超聲波霧化震蕩技術(shù)均勻噴涂在一定溫度的物件表面,多次沉積成均勻涂層膜的納米噴膠設(shè)備。VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)采用不銹鋼機(jī)身,桌面臺(tái)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,七寸全彩觸屏界面,高精密電缸控制,整體設(shè)計(jì)布局合理,簡(jiǎn)單易用。

 

產(chǎn)品名稱

VTC-100-SE基本型桌面式噴膠機(jī)

主要特點(diǎn)

1、可臺(tái)面式操作,外形尺寸緊湊

2、超聲波霧化或二流體霧化噴嘴可選

3、底盤(pán)旋轉(zhuǎn)加熱,XY電缸移動(dòng)式噴膠

4、可處理大基片尺寸為8寸晶圓,向下兼容

技術(shù)參數(shù)

1、熱盤(pán)溫控范圍:室溫—150℃,溫度分辨率:0.1℃

2、溫度均勻性:小于±1%(工作范圍內(nèi))

3、膠體流速范圍:1-20ml/min

4、電缸移動(dòng)速度:1-200㎜/s

5、電缸定位精度:±0.02㎜

6、電缸有效行程:300×300㎜

7、超聲波霧化粒徑:小于50μm

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸:928(W)×800(D)×510(H)㎜

 


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