功能
涵蓋整個質量范圍的高分辨率：質量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內明確地分離
典型應用
規格
| 類型 | QMA 400 | QMA 410 | QMA 430 | |
|---|---|---|---|---|
| 質量范圍 | 1-2048 amu (1) | 1-340 amu (2) | 1-300 amu | |
| 傳感器長度 | 441.5 mm | 548 mm | 441.5 mm | |
| 桿直徑 | 8 mm | 16 mm | 8 mm | |
| 桿材料 | Molybdenum | Molybdenum | Stainless Steel | |
| 法蘭 | DN 63 CF-F | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | |
| 檢測器類型 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | Faraday/SEV 217 | |
| 大工作壓力 (FC) | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | 1 E-4 mbar | |
| 大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | 1 E-5 mbar | |
| 靈敏度 | 5 E-4 A/mbar | 1 E -3 A/mbar | 2 E-4 A/mbar | |
| 小可檢測分壓 | 1 E-15 mbar | 5 E-16 mbar | 1 E-15 mbar | |
| 分辨率（可調） | 0.3 - 7 amu | 0.2 - 2.2 amu | 0.3 - 7 amu | |
| 分壓比 | < 0.5=""> | < 0.5=""> | < 0.5=""> | |
| 工作溫度傳感器 | 150 °C | 150 °C | 150 °C | |
| 烘烤溫度 | 400 °C | 400 °C | 400 °C | |
| 工作溫度電子元件 | 40 °C | 40 °C | 40 °C | |
| 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | 0.125 ms - 60 s/amu | |
| 電源 | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | 100 - 240 VAC | |
(1) QMA 400 可用于質量范圍：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的規格基于 512 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置
(2) QMA 410 可用于質量范圍：1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的規格基于 128 amu 質量范圍、聚焦離子源系統配置
零件號
| QMA 430 | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| 490-913 | QMA 430 with Grid Ion Source |
| 490-943 | QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT |
|
|
|
|
|
|
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
