濺射傳感器

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公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質其他
更新時間 2021/2/3 15:57:10
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特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

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概述
規格
零件號
附件
耗材
備件
下載

功能

鍍金鈹銅傳感器體和冷卻管可實現冷卻效果
磁鐵可偏轉自由電子，使其遠離監控器晶體
利用可彎曲的水管輕松安裝，靈活放置傳感器
后裝式晶體插入便于更換晶體

規格

類型		Sputtering Sensor
無水時的烘烤溫度		105°C
小水流時的工作等溫環境溫度		400° C
尺寸（大外殼）		1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空氣和同軸長度		Standard 30 in. (76.2 cm)
晶體交換		Rear-loading
安裝		Customer supplied
安裝要求
饋入件		2 pass water with coax connector 2¾ in. ConFlat^® Flange – IPN 002-043 1 in. Bolt – IPN 002-042
其他		1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes. 2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.
水流速		Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料
主體和支架		Au plated Be-Cu
彈簧、電氣觸點		Au plated Be-Cu
水管		Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
連接器		304 Stainless steel
絕緣體		99% Al₂O₃
電線		Teflon^® insulated copper
焊料		Cadmium free silver and indium alloys
晶體		0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁鐵		ALNICO 5 Alloy
可選閘門組件 750-005-G1 規格：
溫度		130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr（壓縮接頭）端接：
材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON^®
溫度		Operational environment to 300oC with water cooling or 165oC without
安裝		1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接：
材料		304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
溫度		Operational environment to 450oC with water cooling or 165oC without
安裝		Mates with 2 ? in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件號

Sputtering Sensor
零件號	明細
750-618-G1	濺射傳感器（僅傳感器，不包括饋入件）

附件

名稱	說明
QCM 傳感器饋入件	QCM 傳感器饋入件

Sputtering Sensor
零件號	明細
750-005-G1	用于濺射傳感器的氣動閘門組件（僅閘門組件，不包括傳感器）
750-420-G1	電磁閥，24 伏（與帶閘門和多晶體傳感器配合使用）

耗材

名稱	說明
石英監控器晶體	石英監控器晶體

備件

Sputtering Sensor
零件號	明細
007-023	陶瓷夾持器
007-049	Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007	止動彈簧（用于晶體支架）
007-047	Front Cover, Sputtering Sensor
007-009	DET, MAGNET
070-0440	Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442	定位環（安裝到閘門組件的軸上）
070-0441	Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044	Teflon 螺釘（用于片簧）
082-029-P1	SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2	COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2	SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1	Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4	聯軸器（安裝到波紋管組件）
750-169-P4	用于氣動閘門組件的波紋管組件
750-174-P2	母型同軸
750-175-P1	絕緣體（片簧下面）
750-188-P3	片簧
008-007	CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1	Body, Sputtering Sensor
750-626-P1	Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12	真空電纜，15.2 厘米（6 英寸）
007-252	真空電纜，30.5 厘米（12 英寸）
321-039-G11	真空電纜，61.0 厘米（24 英寸）
007-044	真空電纜，78.1 厘米（30.75 英寸）
007-059	真空電纜，91.4 厘米（36 英寸）
007-061	真空電纜，121.9 厘米（48 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13	真空電纜，154.2 厘米（60 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14	真空電纜，182.9 厘米（72 英寸）- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15	真空電纜，3.5 米（137.8 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16	真空電纜，4 米（157.5 英寸）- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU