功能
典型應用
規格
| 類型 | STM-2XM | |
|---|---|---|
| 兼容傳感器 | Single/shuttered single or dual QCM sensor | |
| 傳感器輸入 | Two | |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) | |
| 頻率分辨率 | ±0.03 MHz at 6 MHz | |
| 參考頻率穩定性 | ±2 ppm | |
| 厚度和速率分辨率/測量 | ±0.037 ? @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz | |
| 測量間隔 | 0.10 s | |
| 存儲薄膜 | 15 | |
| 顯示模式 | Thickness/Mass | |
| 數字輸入 | Eight | |
| 數字輸出 | Eight | |
| 模擬輸出 | Four | |
| 模擬輸出額定參數 | 0 to +/-10 V, 10 mA | |
| 繼電器額定參數 | Up to 48 V (dc) ? V (ac), 2A | |
| 電源要求 | 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA | |
零件號
| STM-2XM | |
|---|---|
| 零件號 | 明細 |
| STM-2XM-G1 | STM-2XM 監測儀，美式電源線 |
| STM-2XM-G2 | STM-2XM 監測儀，歐式電源線 |
附件
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| Easy Rate Single Sensor | |
| 前裝式單傳感器 | |
| 前裝式雙傳感器 | |
| 炫酷抽屜單傳感器 | |
| 炫酷抽屜雙傳感器 | |
| 薄型雙傳感器 | |
| UHV 可烘烤傳感器 | |
| ALD 傳感器 | |
| 濺射傳感器 |
| 零件號 | 明細 |
|---|---|
| 783-014-008 | 機架安裝套件 - 在一個 48.3 厘米（19 英寸）機架中安裝一個 STM-2XM 儀器 |
| 783-014-009 | 雙機架安裝套件 - 在一個 48.3 厘米（19 英寸）機架中安裝兩個 STM-2XM 儀器 |
| Oscillator kits | （包括振蕩器和電纜） |
| 783-500-109-10 | 3 米（10 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 3 米（10 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-25 | 7.6 米（25 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-50 | 15.2 米（50 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜 |
| 783-500-109-75 | 22.8 米（75 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜 |
| Oscillator Only | （未隨附電纜） |
| 783-500-013 | 僅 OSC-100 振蕩器（無電纜） |
| Cables | |
| 782-902-011 | 15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，公型/母型 |
| 782-902-012-10 | 3 米（10 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-25 | 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-50 | 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
| 782-902-012-75 | 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜，公型/公型 |
耗材
| 名稱 | 說明 |
|---|---|
| 石英監控器晶體 |
手冊
手冊
目錄
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