島津SHIMADZU AXIS NOVA X射線光電子能譜儀的標準主機包含單色化Al Kα X射線源，可實現大面積XPS分析、小面積XPS分析和ISS分析以及XPS快速平行成像等功能；業界功率的600W單色化Al Kα X射線源，確保的分析靈敏度；平均半徑165mm的雙層能量分析器，確保高能量分辨XPS分析和高空間分辨的XPS成像。

島津SHIMADZU AXIS NOVA X射線光電子能譜儀具有的浸入式磁透鏡技術，大幅度提高分析靈敏度；的快速平行X光電子實時成像，可進行微區元素和化學態空間分布分析；的同軸超低能單電子源荷電中和器，解決絕緣體XPS分析；的二維陣列延遲線檢測器，同時記錄光電子的強度和發射位置。

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